Helios 5 DualBeam

用于 TEM 和 STEM 成像或原子探針斷層掃描的樣品制備。產品可實現先進的自動化操作，簡單易用，并且能夠進行高質量的亞表面 3D 表征

新一代 Thermo Scientific Helios 5 DualBeam 具有 Helios DualBeam 顯微鏡產品系列業界的高性能電子顯微鏡成像和分析性能。它經過精心設計，可滿足材料科學研究人員和工程師對各種聚焦離子束掃描電子顯微鏡 (FIB-SEM) 的需求  - 即使是挑戰性的樣品。

主要特點

高質量樣品制備

使用高通量 Thermo Scientific Tomahawk 離子鏡筒或具有無人可比低電壓性能的 Thermo Scientific Phoenix 離子鏡筒為 S/TEM 和 APT 分析制備自定義樣品。

以最短時間獲得納米級信息

使用的 Thermo Scientific Elstar 電子鏡筒為任何經驗水平的用戶提供 Thermo Scientific SmartAlign 和 FLASH 技術支持。

完整的樣品信息

可通過多達 6 個集成在色譜柱內和透鏡下的集成檢測器獲得清晰、精確且無電荷的對比度。

快速納米原型設計

對臨界尺寸小于 10 nm 的復雜結構進行快速、準確、精確的銑削和沉積。

無偽影成像

基于集成的樣品清潔度管理和專用成像模式，例如 DCFI 和 SmartScan 模式。

全自動

使用可選配的 AutoTEM 5 軟件進行快速、簡單、 全自動、無人值守的多現場原位和非原位 TEM 樣品制備以及交叉切片。

新一代 UC+ 單色器技術

憑借具有更高電流的新一代 UC+ 單色器技術，可以在低能量下實現亞納米性能，從而顯示最細致的細節信息。

3D 分析

使用可選配的 Thermo Scientific Auto Slice & View 4 (AS&V4) 軟件通過精確靶向目標區域而獲得高質量、多模式的亞表面和 3D 信息。

精確的樣品導航

在 150-mm 壓電載物臺的高穩定性和準確性或 110-mm 載物臺的靈活性以及腔室內 Thermo Scientific Nav-Cam 攝像機的支持下根據具體應用需求進行定制。

STEM 成像

Thermo Scientific Helios 5 FX 的配置具有的原位 3? 分辨率 STEM 功能，可提供高高效的工作流程。