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| 泵軸位置 | 臥式 | 輸送介質 | 油泵 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數目 | 多級 | 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
日本ULVAC愛發科 多級羅茨型干泵 低噪音型
日本ULVAC愛發科 多級羅茨型干泵 低噪音型
對節能的貢獻
干泵的耗電量最大可減少80%（與本公司產品相比）。
此外，還有抑制干泵發熱作用，降低空調設備的電力消耗。
*不能用作抽排易燃、助燃、有毒性氣體等的泵。
干泵的性能改進有望提高極限壓力性能
可降低排氣噪音
所有壓力范圍內，排氣速度均不會下降
在1000Pa以下連續運轉時間較長的用途下有非常好的效果
*可安裝在即使排氣口為真空也毫無問題的干泵上。
安裝簡單
用于排出空氣，氮氣，氬氣等惰性氣體的干泵用于排出空氣，氮氣，氬氣等惰性氣體的干泵
濺射設備等的loading/unloading室用的干泵
| 型式 | ES10 | ES4A | |||
| 電源 | 規格 | 單相 AC100～220V 50/60Hz | 單相 AC200～220V±5% 50/60Hz | ||
| 最大功耗 | 65W *1 | 400W | |||
| 控制 | 輸入 | 遠程啟動/停止（接點 DC24V有電圧） 接點容量2.0A以上請準備無電源接點 *2 | |||
| 輸出 | 過電流報警輸出(接點 無電圧) 接點容量：DC24V 1.0A | 啟動確認、省電確認、本體警報、過電流警報 | |||
| 顯示 | 運作時間顯示 | 運作時間、啟動確認、省電確認、本體警報、過電流警報 | |||
| 外觀尺寸 | 本體單元 | 175mm×310mm×240mm | 250mmx475mmx373mm | ||
| 閥單元 | Φ66mm×110mm(NW40) *3 | 選項 | |||
| 質量 | 本體單元：8.3kg 閥單元：800g | 32kg | |||
| 質量 | G1/4" (INLET、OUTLET) 已安裝連接器 | Φ16mm管接頭( 推薦管的長度為1.5m以內) | |||
| 弊社泵型號 | LR1800 | LR3601-R | ||
| 排氣速度*1 | 羅茨泵 | 1784m3/hr（29700L/min） | 3200m3/hr(53333L/min） | |
| 干泵 | 237m3/hr（3950L/min） | 440m3/hr(7333L/min） | ||
| 平均功耗*2,3 | 極限壓力運作時 | 沒有 | 6.0kW | 7.8kW |
| ES4A安裝時 | 2.7kW | 3.2kW | ||
| 消減率 | 55% | 59% | ||
| 反復排氣時 *4 | 沒有 | 7.2kW | 9.6kW | |
| ES4A安裝時 | 5.7kW | 6.3kW | ||
| 消減率 | 21% | 34% | ||
*1 電源頻率60Hz
*2 密封氣體5SLM
*3 包含ECO-SHOCK ES4A功耗
*4 300L腔室反復排氣60秒節拍的測量示例。
| 型號名稱 | LR60 | LR90 | LR180 |
| 排氣速度*1 | 1300L/min | 2100L/min | 3980L/min |
| 實測功耗*2 | 2.1kW | 3.6kW | 6.6kW |
| ECO-SHOCK安裝后的實測功耗*2 *3 *4 | 0.7kW | 1.0kW | 1.6kW |
| 電力消減率 | 67% | 72% | 76% |
*1 電源頻率60Hz
*2 功耗為極限壓力時的代表值
*3 包括ECO-SHOCK的功耗
*4 密封氣體、吹掃氣體流量0Pa?m3/s時。取決于密封氣體、吹掃氣體流量
ULVAC 廠商介紹：
1952 年 ULVAC 成立時，它是一家由年輕工程師在六位天使投資人的支持下創建的風險投資公司，他們希望“通過真空技術為工業和科學的發展做出貢獻"。
自成立以來，ULVAC一直珍視這種創業精神，并與廣泛行業的合作伙伴制造商合作，包括液晶平板顯示器、半導體和電子元件，以及汽車、食品和藥品等一般工業設備，ULVAC接受了利用技術進行創新并努力創造新價值的挑戰。
追求真空技術創造新價值
ULVAC集團是一家企業集團，為廣泛的行業全面提供各種真空技術，包括真空設備、真空設備、材料、分析設備和客戶解決方案。
在 ULVAC 集團內，零部件業務部門是一組負責開發、制造和銷售構成真空設備的各種真空設備的公司。真空設備的性能是由這些追求真空技術的真空設備支撐的。
通過與客戶的溝通，共創繁榮的未來
ULVAC還希望通過與客戶的溝通來支持新的業務領域和不斷發展的技術。
盡管ULVAC現在的組織比成立時規模更大，但其冒險精神始終沒有改變。
ULVAC將繼續利用集團的集體力量和創新精神，以速度感響應各領域的需求，為工業和科學的發展做出貢獻。
零部件事業部
ULVAC株式會社 零部件事業部
愛發科機工株式會社
愛發科低溫有限公司
愛發科（寧波）有限公司
韓國愛發科低溫公司
愛發科低溫技術（寧波）有限公司
愛發科銷售有限公司
愛發科科技有限公司
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