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有源 PENNINGVAC 系列 PTR 90/225 RN 產品擁有多種增強功能，可在嚴苛的應用中延長真空計的保養間隔。與組合式傳感器所支持的低開啟壓力相結合，非常適合從粗真空到高真空測量的多種應用。

Leybold萊寶PENNINGVAC冷陰極真空計（PTR90）是一款用于精確壓力測量的多功能有源傳感器，具有以下特點：

l測量范圍廣：壓力范圍從 1×10?? mbar 到 1000 mbar，部分型號如 PTR 90 N 的測量范圍為 5×10?? mbar到1000 mbar

l精度較高：在 1×10??至 1×10?2 mbar 范圍內，精度小于測量值的 30%；在 1×10?2 至 10 mbar 范圍內，精度小于測量值的 15%

l穩定性強：采用冷陰極和燈絲皮拉尼等技術，可在惡劣環境中穩定工作，減少灰塵和顆粒污染的影響

l接口豐富：有數字或模擬（RS232 或 485）接口可供選擇，部分型號配備 RJ45/FCC68 連接器

l顯示直觀：配備自適應 LED 壓力指示，通過脈沖模式顯示壓力信息

l緊湊尺寸，易于集成

l冷陰極堅固耐用 - 即裝即用

PENNINGVAC PTR 90 RN：組合式冷陰極真空計

我們的組合式冷陰極真空計采用冷陰極電離的反磁控管原理，并與皮拉尼真空計相結合。

通過將這些技術組合到一個更緊湊的傳感器中，擴大了真空計量程，能夠可靠測量大氣壓到 1 x 10^-9的壓力。

冷陰極的開/關功能由集成式皮拉尼真空計自動控制，無縫消除了在壓力過高情況下運行冷陰極的任何風險，該風險可能會導致真空計使用壽命縮短。

提供模擬 0-10V 線性輸出和數字通信。

行業應用

半導體行業

薄膜沉積：在半導體芯片制造過程中，如化學氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）等薄膜沉積工藝，需要精確控制反應腔室中的真空度。PTR90 可實時準確測量腔室內的壓強，確保沉積過程在合適的真空環境下進行，從而保證薄膜的質量和性能，如薄膜的厚度均勻性、附著力等。

離子注入：離子注入是半導體制造中的重要摻雜工藝，需要高真空環境以避免雜質干擾。PTR90 能精確監測真空度，為離子注入設備提供準確的壓強數據，確保離子束能夠準確地注入到半導體材料中，實現對半導體材料電學性能的精確控制。

真空鍍膜行業

光學鍍膜：在光學鏡片、濾光片等光學元件的鍍膜過程中，需要嚴格控制鍍膜腔室的真空度。PTR90 可幫助維持穩定的真空環境，確保鍍膜材料能夠均勻地沉積在光學元件表面，提高鍍膜的質量和光學性能，如反射率、透過率等。

裝飾鍍膜：在手表帶、手機外殼等產品的裝飾性鍍膜中，PTR90 可確保鍍膜過程在合適的真空度下進行，使鍍膜層具有良好的附著力、色澤和耐腐蝕性，提高產品的外觀質量和使用壽命。

真空爐領域

金屬材料熱處理：在金屬材料的真空熱處理過程中，如真空淬火、真空回火等，PTR90 可實時監測真空爐內的壓強變化，確保爐內處于高真空或特定的真空環境，防止金屬材料在熱處理過程中氧化、脫碳等，提高金屬材料的性能和質量。

陶瓷材料燒結：對于陶瓷材料的真空燒結，PTR90 能夠精確測量和控制燒結爐內的真空度，有助于排除爐內的氣體雜質，促進陶瓷材料的致密化燒結，提高陶瓷材料的致密度、硬度和強度等性能。

分析儀器行業

質譜儀：在質譜分析中，需要高真空環境來保證離子的傳輸和檢測效率。PTR90 可作為質譜儀的真空監測部件，實時測量離子源、質量分析器等部位的真空度，確保儀器正常運行，提高質譜分析的靈敏度和準確性。

電子顯微鏡：電子顯微鏡需要在高真空環境下工作，以避免電子束與氣體分子的相互作用。PTR90 可為電子顯微鏡提供精確的真空度測量，確保電子槍、樣品室等部位處于良好的真空狀態，從而獲得高分辨率、高質量的圖像。

其他領域

航空航天：在航空航天零部件的制造和測試過程中，如真空釬焊、真空檢漏等工藝，PTR90 可用于測量和控制真空度，保證零部件的質量和可靠性，滿足航空航天領域對高性能、高可靠性材料和部件的要求。

科研實驗：在各類物理、化學、材料等科研實驗中，如表面科學研究、納米材料制備、等離子體物理實驗等，PTR90 可作為重要的真空測量工具，幫助研究人員精確控制實驗環境的真空度，確保實驗結果的準確性和可重復性。

Leybold萊寶PENNINGVAC冷陰極真空計

技術參數

產品選型