聯系電話
池田屋實業(深圳)有限公司
中級會員·3年
具體成交價以合同協議為準
- 聯系人：
- 周璇
- 電話：
- 0755-22220216
- 手機：
- 17503077078
- 傳真：
- 86-755-22220215
- 地址：
- 深圳市龍華區龍華街道松和社區匯食街一巷7號3層
- 個性化：
- www.gor.com.cn
- 網址：
- www.ikedaya.cn/
掃一掃訪問手機商鋪
產品介紹
EBARA荏原 高負荷工藝干式真空泵 半導體用 EV-M505SF
EBARA荏原 高負荷工藝干式真空泵 半導體用 EV-M505SF
EV-M型
適合節能和高負荷工藝的干式真空泵
高負荷工藝支持
高溫控制
節能
采用耐腐蝕材料作為標準
提高耐腐蝕性的選擇
不同頻率下性能相同（50/60Hz）
無油
符合 CE 標志/SEMI-S2/NRTL 要求
產品介紹
荏原的高溫技術支持半導體、液晶顯示器和太陽能電池制造過程中產生反應副產物的高負荷工藝。
高節能性能可同時實現高負荷工藝和節能。
標準配置為耐腐蝕材料，并且還包括排量為110,000 L/min的大排量型號。
我們擁有適合各種工藝條件的豐富產品陣容，能夠處理各種高負荷工藝。
規格
| 模型 | 單元 | EV-M20N | EV-M102N | EV-M202N | EV-M302N | EV-M502N | EV-M505SF | EV-M802N | EV-M805SF | EV-M1205SF | |
| 抽氣速度 | 升/分鐘 | 1,800 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 5萬 | 5萬 | 8萬 | 8萬 | 110,000 | |
| 極限壓力 | 帕 | 5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
| 連接尺寸 | 進氣 | NW40 | ISO100 | ISO100 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | ISO200 | ISO200 | ISO200 | |
| 排氣口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 極限壓力下的近似功率值 | 千瓦 | 1.2 | 1.8 | 1.9 | 2.3 | 2.1 | 3.9 | 2.8 | 4.6 | 5.3 | |
| 冷卻水 | 流動 | 升/分鐘 | 3~8 | 3~8 | 3.5~8 | 4~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 溫度 | ℃ | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | |
| 氮氣 | 流動 | 帕•立方米/秒 | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 28~33 | 228 | 28~33 | 228 | 34~35 |
| 電源相位/電壓/頻率 | 200V 型號 | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
| 400V 型號 | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | - | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | ||
| 供電容量 | 千伏安 | 3.3 | 5.4 | 6 | 6.8 | 7.1 | 15.7 | 8.3 | 19.4 | 14.2 | |
| 近似質量 | 公斤 | 170 | 320 | 360 | 400 | 500 | 580 | 740 | 820 | 870 | |
相關產品
