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產品介紹
EBARA荏原 高抽速、大流量無油真空泵 EST型 EST300WN
EBARA荏原 高抽速、大流量無油真空泵 EST型 EST300WN
EST 類型
干式真空泵可抽取大量氣體，適用于反應副產物
高溫控制
高抽速
高流量排氣
采用耐腐蝕材料作為標準
提高耐腐蝕性的選擇
高負荷工藝支持
不同頻率下性能相同（50/60Hz）
無油
符合 CE 標志/SEMI-S2/NRTL 要求
產品介紹
EST型采用螺桿轉子，并配備高溫功能，可使泵內的氣體保持高溫，非常適合CVD等產生反應副產物的應用。
標準采用耐腐蝕材料，實現高抽速和大流量，減少停機時間并提高工藝效率。
規格
| 模型 | 單元 | EST10N | EST25N | EST100WN | EST200WN | EST300WN | EST500WN | EST800WN | |
| 抽氣速度 | 升/分鐘 | 1,000 | 2,500 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 5萬 | 8萬 | |
| 極限壓力 | 帕 | 2.7 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.5 | |
| 連接尺寸 | 進氣 | NW40 | NW40 | NW50 | NW100 | NW100 | ISO160 | ISO200 | |
| 排氣口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 極限壓力下的近似功率值 | 千瓦 | 2.3 | 3 | 3.2 | 3.2 | 4.5 | 4.6 | 4.6 | |
| 冷卻水 | 流動 | 升/分鐘 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 溫度 | ℃ | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | |
| 氮氣 | 流動 | 帕•立方米/秒 | 13~18 | 13~18 | 24~29 | 24~29 | 28~31 | 28~31 | 28~31 |
| 電源相位/電壓/頻率 | 200V 型號 | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
| 400V 型號 | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | - | ||
| 供電容量 | 千伏安 | 4.6 | 7.3 | 8.2 | 8.5 | 12.7 | 15.1 | 16 | |
| 近似質量 | 公斤 | 260 | 300 | 380 | 430 | 500 | 550 | 840 | |
