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?分辨平場光譜儀，采?全息凹球?變線距光柵進?分光，具有平場特性，便于使??陣CCD記錄光譜。光柵?作在掠?射模式下，衍射效率?，同時通過選?不同的光柵型號，可以實現波?范圍1~30nm的全覆蓋。
產品特點：
1、高光譜分辨
2、在線精密可調狹縫
3、遠程激光瞄準定位
4、結構緊湊集成度高
5、高真空兼容性
主要參數：
· 光源類型：凹面變距光柵 · 波長范圍：1~30nm(選配)
· 探測器類型：科研級相機 · 高真空兼容:5x105Pa
· 光譜分辨率：2500@6nm/3000@30nm（可根據需求優化）
· 在線連續可調狹縫：5μm~300μm
選配范圍：
光柵參數：
應用領域：
· 強場與高能量密度物理
· 半導體與集成電路制造
· 探測器、光源計量級標定
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