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應用領域	環保,化工,石油,電子/電池

微量氣體分析儀
它是可以對用于半導體工藝的混合氣體 （N2、O2、He、Ar、H2、Air） 中的微量不純物進行超高靈敏度、高精度 （檢測感度可至10ppb） 連續檢測的裝置。由于采用了交替流動調制方式，可以和零氣體不斷比較的同時進行檢測，所以沒有零點漂移，能夠獲得長期穩定的檢測值。由于它通過19英寸RACK方式進行了集中，所以系統升級也很容易。適于半導體氣體制造設備的質量管理 。