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SIBATA柴田科學微型泵迷你泵MP-Σ30NⅡ性能介紹:MiniPumpMP-Σ(Sigma)系列是一款小型、輕量、便攜、高性能的空氣吸引泵(氣泵、氣動泵),內置累積流量測量功能。基本型有三種不同的流量范圍:0.5L/min、3L/min、5L/min。由于吸入流量穩定,可廣泛應用于作業環境、室內環境、大氣環境等有害物質的采樣。●配備流量傳感器,直接測量吸入流量,數字顯示瞬時流量和累計流量。搭載了恒流功能,可抑制因集塵等引起吸入壓力上升而引起的吸入流量的下降。●可采用4種模式(手動、下降定時器
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玉科代理推薦SIBATA柴田科學微型泵迷你泵MP-Σ300NⅡ
SIBATA柴田科學微型泵迷你泵MP-Σ300NⅡ性能介紹:MiniPumpMP-Σ(Sigma)系列是一款小型、輕量、便攜、高性能的空氣吸引泵(氣泵、氣動泵),內置累積流量測量功能。基本型有三種不同的流量范圍:0.5L/min、3L/min、5L/min。由于吸入流量穩定,可廣泛應用于作業環境、室內環境、大氣環境等有害物質的采樣。●配備流量傳感器,直接測量吸入流量,數字顯示瞬時流量和累計流量。搭載了恒流功能,可抑制因集塵等引起吸入壓力上升而引起的吸入流量的下降。●可采用4種模式(手動、下降定時 -
迷你泵MP-Σ500NⅡ工作原理:MiniPumpMP-Σ(Sigma)系列是一款小型、輕量、便攜、高性能的空氣吸引泵(氣泵、氣動泵),內置累積流量測量功能。基本型有三種不同的流量范圍:0.5L/min、3L/min、5L/min。由于吸入流量穩定,可廣泛應用于作業環境、室內環境、大氣環境等有害物質的采樣。●配備流量傳感器,直接測量吸入流量,數字顯示瞬時流量和累計流量。搭載了恒流功能,可抑制因集塵等引起吸入壓力上升而引起的吸入流量的下降。●可采用4種模式(手動、下降定時器、容量定時器、循環定時器
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watson深江化成移液器NT-S2/NT-S10NT-S100
watson深江化成移液器NT-S2/NT-S10/NT-S100/NT-S200Watson移液器NEXTY-S系列的單通道移液器,以下是其相關介紹:基本參數2量程:0.2-500μL。最小刻度:0.001μL。精度:±15.0%(0.2μL時),±2.5%(2μL時)。準確度:≤8.0%(0.2μL時),≤1.0%(2μL時)。產品特點2人體工程學設計:采用薄型按鈕設計,操作輕松,減少拇指疲勞,長時間使用也不會感到不適;配備三速渦輪刻度盤,1次旋轉相當于按鈕刻度盤的3.5次旋轉,單手即可輕松 -
抽氣極限是指真空泵所能達到的低壓力值,其高低對半導體制造工藝有著多方面的具體影響,以下是詳細介紹:對光刻工藝的影響提高分辨率:光刻工藝需要高的真空度來避免光線散射。抽氣極限高(即所能達到的真空度低)時,光刻系統中殘留氣體較多,光線在傳播過程中容易與氣體分子發生散射,導致光刻圖案的分辨率下降。而抽氣極限低(可達到高真空度)能減少光線散射,使光刻圖案更加清晰,有助于實現更小尺度的芯片制造。防止透鏡污染:在高真空環境下,透鏡等光學元件表面吸附的雜質氣體少,可避免雜質在高溫或高能輻射下揮發并沉積在透鏡表
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真空泵的抽氣速率和抽氣極限是衡量真空泵性能的兩個重要指標,它們對半導體制造工藝有著深遠影響,具體如下:抽氣速率的影響工藝效率方面縮短工藝時間:較高的抽氣速率能快速將反應腔室或處理區域的氣體抽出,使腔室迅速達到工藝所需的真空度,從而縮短每個工藝步驟的準備時間,提高生產效率。例如在化學氣相沉積(CVD)工藝中,快速達到真空度可以更快地引入反應氣體開始沉積過程。提高設備產能:對于連續型的半導體制造設備,如自動化晶圓處理生產線,抽氣速率快能使設備在單位時間內處理更多的晶圓,因為快速抽氣可以讓設備更快地進
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真空泵的抽氣速率是指在一定時間內真空泵能夠抽出氣體的體積,它對半導體制造工藝有著多方面的重要影響,具體如下:影響工藝效率縮短工藝時間:較高的抽氣速率能快速將反應腔室或處理區域的氣體抽出,使腔室達到工藝所需的真空度,從而縮短了每個工藝步驟的準備時間。例如在化學氣相沉積(CVD)工藝中,快速達到真空度可以更快地引入反應氣體開始沉積過程,提高生產效率。提高設備產能:對于連續型的半導體制造設備,如一些自動化的晶圓處理生產線,抽氣速率快能使設備在單位時間內處理更多的晶圓。因為快速抽氣可以讓設備更快地進入下
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真空泵在半導體制造中還有以下應用場景:化學氣相沉積(CVD)原理:通過氣態的化學物質在高溫、真空環境下發生化學反應,在半導體晶圓表面沉積一層固態薄膜。作用:真空泵用于維持反應腔室的真空環境,精確控制反應腔室的壓力,使氣態反應物能夠均勻地分布在晶圓表面,保證薄膜沉積的均勻性和一致性,同時防止雜質混入薄膜中,影響半導體器件的性能。例如,在沉積二氧化硅薄膜用于芯片的絕緣層時,需要通過真空泵將腔室壓力控制在合適范圍,以獲得高質量的絕緣薄膜。物理氣相沉積(PVD)原理:通過物理過程,如蒸發、濺射等,將金屬