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當前位置：玉崎科學儀器（深圳）有限公司>>Rigaku理學>>半導體測量設備>> ONYX 3200玉崎科學半導體設備理學Rigaku光學工具
| 價格區間 | 面議 | 應用領域 | 醫療衛生,化工,綜合 |
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玉崎科學半導體設備理學Rigaku光學工具
玉崎科學半導體設備理學Rigaku光學工具
ONYX 3200 是市場上先進的混合測量解決方案。這款第二代雙頭工具結合了先進的 μXRF 和光學技術，可在在線半導體制造中提供高精度的缺陷檢測和最高的吞吐量。
ONYX 系列系統旨在在從 FEOL 到 WLP 的整個制造過程中提供全面的計量方法。這包括適合先進封裝和單凸點應用的配置，并允許監控 Ag/Sn 比率。
用于過程監控的單μbump測量
高產量和增加的吞吐量
準確分析金屬厚度和成分
對層厚度和成分的最大敏感性
二維顯微鏡 | 二維顯微鏡放大倍數 | 3D掃描儀 |
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| 測量類型 | 雙頭微點 EDXRF 和光學檢測 (2D-3D) | |
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| 晶圓尺寸 | 最大300mm | |
| 晶圓類型 | 毯子和圖案晶圓 | |
| 導航 | 精密平臺輔以圖像識別算法 ，可快速亞微米導航至單個特征中心 | |
| 微型 XRF 光束方向 | 正入射微點 (μXRF) | |
| 光學系統 | “多色"（X 射線光學）和顏色“單色"（X 射線光學） | |
| 微型 XRF 束斑尺寸 | 可調范圍為 10 至 50 µm | |
| 探測器類型 | 硅漂移探測器 (SDD)：3 種配置 1. 常規 > Al 2. 輕元素：C、N、O、F、S 3. 重元素：> Ge（針對 Ag、Sn 進行了優化） | |
| DPP｜數字脈沖處理器 | 超過 100 萬光子/秒的高效率 | |
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