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玉崎科學儀器（深圳）有限公司
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產品簡介
| 價格區間 | 面議 | 應用領域 | 醫療衛生,化工,綜合 |
|---|
玉崎科學半導體設備理學Rigaku射線膠片厚度
在線 射線膠片厚度/密度監測儀
產品介紹
玉崎科學半導體設備理學Rigaku射線膠片厚度
玉崎科學半導體設備理學Rigaku射線膠片厚度
使用 射線熒光 (XRF)、 射線反射率 (XRR) 和 射線衍射 (XRD) 對圖案化晶圓進行在線膜厚度和密度監測
Rigaku 的 XTRAIA MF-3000 (MFM310) 是一款在線薄膜厚度/密度監測儀，使用 X 射線熒光 (XRF)、 射線反射率 (XRR) 和 射線衍射 (XRD) 來檢測圖案化晶圓。配備具有微小光斑直徑（75μm、35μm）的單色微X射線束和圖案識別功能，它利用圖案晶圓上的微小區域（例如虛擬圖案和IC芯片的特定部分）來加工薄膜，例如ALD 薄膜可以測量各種薄膜類型的薄膜厚度和密度，包括布線等厚膜。
XTRAIA MF-3000 (MFM310) 概述
產品晶圓的高通量測量
搭載模式識別功能，可在產品晶圓上100μm以下的微小區域內設定任意測量位置。膜厚檢測過程中不再需要毯式晶圓。薄膜的厚度和密度可以在空氣中以高通量且非接觸的方式進行測量。 (15-20WPH)
微型 XRF 測量/實現高精度和高通量
產品陣容包括 7 種單色微型 X 射線束模塊“COLORS"。 可根據膠片類型選擇最佳的入射X射線源。 可任意設置 X 射線入射角，實現低入射和斜入射測量。它還支持超薄膜測量，實現高精度測量和高通量測量。
Micro-XRR/實現高動態范圍和高吞吐量
配備單色微型 X 射線束和動態范圍高達 108° 的超高速探測器，以前難以執行的高通量微型 XRR 測量現在成為可能。 它實現了高精度測量和高吞吐量。
Micro-XRD/可測量各種金屬薄膜的結晶度
使用 100μm 或更小的單色微 X 射線束可以進行局部 XRD 測量。
應用
FEOL：CoSix、NiSix、SiGe、High-κ 薄膜、Al...
BEOL：勢壘金屬、Ta/TaN、Ti/TiN、Cu 籽晶、Cu 鍍層...
支持多種薄膜類型和厚度。
晶圓面內分布評估
200mm和300mm晶圓水平支撐在4軸樣品臺上，支持整個表面直至晶圓邊緣的自動測繪測量。
低COO 設計。實現低初始成本和低運行成本
配備節能單色微型X射線束模塊“COLORS"和“COLORS-i"。低功耗和低維護成本使年度運行成本保持在較低水平。
兼容 300mm 晶圓廠
Fab配備標準FOUP/SMIF接口，兼容300mm/200mm晶圓。 它還支持各種AMHS，并通過支持主機和SECS/GEM協議來支持CIM/FA。
