兼容微量元素濃度和成分分析

兼容從輕元素到重元素的多種元素：  4 Be 到92 U

高靈敏度硼檢測儀AD-Boron 

我們不斷開發新的光學系統，例如改進硼分析能力，以提高分析精度和穩定性。 此外，為了保證穩定性，標準配置了恒溫機構和真空度穩定機構。

XY-θ驅動臺

XY-θ 驅動的樣品臺和測量方向設置程序可實現整個晶圓表面上的精確薄膜厚度和成分分布測量。 鐵電薄膜也不受衍射線的影響。

應用

半導體器件 BPSG, SiO 2 , Si 3 N4, ... 摻雜多晶硅(B,P,N,As), Wsix, ... Al-Cu, TiW, TiN, TaN, ... PZT, BST, SBT, ... MRAM，...　　
金屬膜W，Mo，Ti，Co，Ni，Al，Cu，Ir，Pt，Ru，...　　
磁盤CoCrTa，CoCrPt，...DLC，...NiP，。 ..　　
磁光盤Tb-FeCo、?　　
磁頭GMR、TMR、??

豐富的固定測角儀陣容

我們根據膜厚度和膜結構提供最佳的固定測角儀。我們還有一個專用的光學系統，可以分析硅晶圓上的 Wsix 薄膜。

全自動設備日常管理功能AutoCal

為了獲得準確的分析值，必須正確校準儀器。為此，必須定期測量檢查晶圓和PHA調整晶圓作為管理晶圓，以保持設備處于良好狀態。這種日常校準工作是自動化的，減少了操作員的工作量。 這就是“AutoCal 功能"。

兼容C to C自動傳輸

除了開放式盒式磁帶外，它還兼容 SMIF POD。兼容200mm以下的晶圓。 另外，可與上位機進行SECS通信，并兼容各種CIM/FA。

緊湊節能設計

主機設計緊湊，占地面積小于1平方米。采用無油變壓器，輔助設備緊湊，節能設計。