国产精品亚洲专区一区_无码人妻黑人中文字幕_中文字幕日本人妻久久久免费_一级做a爰片久久毛片亚洲精品第一页国产精品发布_又爽又黄又无遮挡网站_欧美成人一区二区三区四区视频_亚洲午夜精品久久久久久app_爆乳日本有码中文字幕_曰韩精品特黄一级毛片

價格區間	面議	應用領域	醫療衛生,化工,綜合

玉崎科學半導體設備理學Rigaku射線膠片厚度

XTRAIA XD-3300 是一款多功能射線計量工具，可在大批量生產中以高通量對毯式和圖案化 300 mm 和 200 mm 晶圓上的單層和多層薄膜進行無損分析。

測量結果包括通過射線反射率 (XRR) 測量的膜厚度、密度和粗糙度，以及通過高分辨率 XRD (HRXRD) 測量的外延膜厚度、成分、應變、晶格弛豫和結晶度。

XTRAIA XD-3300 概述

它支持多種應用，包括在線 XRD/XRR 多層堆疊、金屬薄膜、壓電薄膜、SiGe 和化合物半導體薄膜的厚度和成分分析。您可以根據您的應用選擇最佳的設備配置。

XRD 和 XRR 分析有可能通過內聯實現自動化。

用于高效處理的內聯功能

用于靈活樣品定位的載物臺和測角儀

利用光束尺寸高達 40 μm 的高分辨率 X 射線束

全自動化功能，實現高效運營

兼容 200 毫米和 300 毫米晶圓

配備2D探測器，精確采集數據

通過*的分析軟件支持全面的數據解釋

方法	高分辨率X射線衍射（HRXRD）、射線反射率（XRR）
目的	用于毯狀/圖案外延薄膜的雙光束（線和 40μm 微點）圖案識別
X射線源	1：9 kW 銅旋轉陽極陰極或 2.2 kW 銅封裝管 2：COLORS™ 混合銅梁模塊，用于測量圖案化晶圓
主要部件	整體和圖案晶圓測量射線光學器件：最多 2 個單色儀 Ge(400) x 2、Ge(220) x 2、Ge(220) x 4 射線探測器：2D (HyPix-3000) 微光斑尺寸、圖案識別、高強度、chi軸高精度測角儀
特征	具有高強度旋轉反陰極和微點束的 COLORS™ 混合銅束模塊
選項	單色儀、各種光學組件 GEM300 軟件、E84/OHT 支持
機身尺寸	1656（寬）×3689（深）×2289（高）毫米
測量結果	HRXRD、XRR、搖擺曲線和倒晶格圖 (RSM)