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HORIBA堀場全新混合注入系統液體汽化器
HORIBA堀場全新混合注入系統液體汽化器
MV-2000 系列采用新的螺旋流加熱方法，即使在低溫下也能實現穩定汽化。適用于包含 “High-k"工藝液體在內的一系列液體源的汽化。
| 模型 | MV-2000 |
|---|---|
| 液體材料 | 除腐蝕不銹鋼的液體（例如 HCl、HF）之外的所有液體 |
| 設定溫度 | 按汽化條件（控制閥：最高140 ?C 汽化器：最高200 ?C） |
| 泄漏完整性 | ≤1×10-8Pa·m3/s（He） |
| 內漏標準 | ≤1×10-6 Pa·m3/s（He） |
| 接觸液體的部件 | 不銹鋼316L |
| 溫度傳感器 | K 型熱電偶 (CA) |
| 耐壓性 | 1兆帕（氣壓） |
| 標準配件 | 液體入口：1/8 VCR 型外螺紋 載氣入口：1/4 VCR 型內螺紋 氣體出口：1/2 VCR 型外螺紋 |
| 工作溫度 | 15 - 50 攝氏度 |
| 選項 | 氣閥（內漏標準：≤1×10-9 Pa·m3/s(He)） |
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