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日本HORIBA堀場原裝自動供液系統玉科嚴選
日本HORIBA堀場原裝自動供液系統玉科嚴選
LU 系列以不間斷、安全和可靠的方式將液態化學品輸送至液體材料烘烤系統和注入系統。這增加了正常運行時間，減少了操作人員手動操作和制程污染的風險。
LU 系列提供自動執行殘余液體清洗程序的功能。
使用 LU 系列提高了供液能力和保養效率。
蒸汽壓力監視功能作為標準配置，可在更換母罐期間檢查吹掃效率
可選配稱重傳感器，監視母罐中殘余液體總量
LU-A1000 系列設計緊湊，采用集成氣體系統，與傳統配件相比，可顯著減小尺寸
日常維護時輕松更換部件
脫氣器模塊為標準配置，可降低液體鼓泡風險，適用于各種汽化系統，包括注入和烘烤應用
安全標準：SEMI S2/S8/S14, CE 標志
安全改善：多樣化的監視設備提供全自動控制。LU-A1000 系列配備了自動緊急關機功能，一旦系統出現故障，該功能將被啟動
可操作性改進：操作步驟全自動化，防止操作失誤。操作也可以通過設備前端的觸控面板來控制
模型 | LU-A1000 系列 |
支持液體 | TEOS、TMOB、TMOP、TEOP、BTBAS |
供給方式 | 氦氣的壓力運動 |
供氣壓力 | 壓力移動用：0.3～0.6 MPa(G)；清洗用：0.3～0.6 MPa(G)，OP N 2 0.6～0.7 MPa(G) |
坦克 | 最大可連接 5 加侖容器（超出生產范圍） |
手術 | 使用供給系統的外部信號自動供給/停止 |
操作區顯示詳情 | 壓力誤差顯示；報警時：顯示保持功能（手動復位）；液位顯示；順序等。 |
燃氣連接 | 參考基本流程 |
電源 | 交流 100 至 240 V，50/60 Hz，300 VA |
電力連接 | AC 100 至 240 V 斷路器連接，信號插座 |
外形尺寸 | 參見外形尺寸圖 |
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