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EV-S100N日本原裝EBARA荏原 清洗行業(yè)干式真空泵
參考價(jià): 19336
訂貨量: 1臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • EV-S100N 產(chǎn)品型號(hào)
  • EBARA/荏原 品牌
  • 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
  • 深圳市 所在地

訪問(wèn)次數(shù):11更新時(shí)間:2025-03-24 16:53:27

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
泵軸位置 其他 抽氣量 看型號(hào)
抽氣速率 看說(shuō)明l/s 電壓 100V
功率 0.4kW 極限壓力 看參數(shù)pa
流量 0.2m3/h 排出口徑 1mm
輸送介質(zhì) 其他 外形尺寸 230X450X274
揚(yáng)程 1m 葉輪數(shù)目 其他
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 重量 60kg
最大工作壓強(qiáng) 0.55
日本原裝EBARA荏原 清洗行業(yè)干式真空泵
日本廠家原裝供貨EBARA荏原,現(xiàn)貨全新 池田屋直銷。
作為中等負(fù)荷工藝專用的干式真空泵,搭載荏原的節(jié)能技術(shù),采用面向自
動(dòng)化工廠制造的優(yōu)化模塊設(shè)計(jì),并進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)了小型化和節(jié)能化。
通過(guò)大范圍的溫度控制,擴(kuò)大了適用工藝范圍。因同一機(jī)型能夠覆蓋多種工藝,能夠優(yōu)化備用設(shè)備的庫(kù)存,減少用于維護(hù)和培訓(xùn)的人力時(shí)間,并且能夠靈活應(yīng)對(duì)未來(lái)的工藝擴(kuò)展。
產(chǎn)品介紹

日本原裝EBARA荏原 清洗行業(yè)干式真空泵

日本原裝EBARA荏原 清洗行業(yè)干式真空泵

  1. EV-X型作為中等負(fù)荷工藝專用的干式真空泵,搭載荏原的節(jié)能技術(shù),采用面向自動(dòng)化工廠制造的優(yōu)化模塊設(shè)計(jì),并進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)了小型化和節(jié)能化。

通過(guò)大范圍的溫度控制,擴(kuò)大了適用工藝范圍。因同一機(jī)型能夠覆蓋多種工藝,能夠優(yōu)化備用設(shè)備的庫(kù)存,減少用于維護(hù)和培訓(xùn)的人力時(shí)間,并且能夠靈活應(yīng)對(duì)未來(lái)的工藝擴(kuò)展。特定以大幅的溫度控制實(shí)現(xiàn)大范圍的工藝覆蓋;低能耗、占地小;可耐受腐蝕性氣體(采用標(biāo)準(zhǔn)耐腐蝕材料);適用案例:各種蝕刻以及CVD、灰化、離子注入、外延生長(zhǎng)等。

2.EEV-S 型為獨(dú)立安裝的羅茨型干泵,有著從輕制程工藝到腐蝕性工藝的廣泛應(yīng)用范圍。擁有抽氣速率可變、通信功能等豐富附

加功能的同時(shí),實(shí)現(xiàn)了“ 低能耗、占地小、輕量化 "。

特 點(diǎn)

低能耗占地小輕量化方面達(dá)到業(yè)內(nèi)水平;耐腐蝕材料、氦氣吹掃功能(可選);在不同頻率(50/60Hz)下性能一致,通過(guò)增強(qiáng)的傳感功能減少停機(jī)時(shí)間,


3.EV-M型可應(yīng)用于在半導(dǎo)體、液晶和太陽(yáng)能電池制造工藝中有副產(chǎn)物生成的重制程工藝。同時(shí)兼顧了對(duì)重制程工藝和節(jié)能的需求,實(shí)現(xiàn)了停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)的減少和運(yùn)行成本的降低。

特 點(diǎn)產(chǎn)品系列豐富,可應(yīng)對(duì)多種工藝、抽氣速率需求;兼顧高負(fù)荷與低功耗;可應(yīng)對(duì)腐蝕性氣體(標(biāo)配耐腐蝕材料)


4.EST型采用螺桿型轉(zhuǎn)子,可應(yīng)對(duì)CVD等工藝副產(chǎn)物的生成,并具備大流量抽氣、耐腐蝕性、抽氣速率可變、通信功能等額外功能。

特 點(diǎn)

可滿足副產(chǎn)物生成的工藝(泵內(nèi)氣體可保持高溫);抽氣速率高、流量大;搭載轉(zhuǎn)速自動(dòng)控制功能(自適應(yīng)氣體流量大小);

可應(yīng)對(duì)腐蝕性氣體(標(biāo)配耐腐蝕性材料);

搭載高性能通信功能優(yōu)良的控制管理方式(數(shù)據(jù)保存功能、警報(bào)履歷備份)


5.ESA型:干式真空泵

ESA型在LCD濺鍍、真空干燥、大型load-lock等需要高速抽氣的場(chǎng)景表現(xiàn)出色。具備流量自適應(yīng)轉(zhuǎn)速調(diào)整、通信功能等額外功能。

特 點(diǎn)適用于大型真空腔室的高速抽氣場(chǎng)景,搭載轉(zhuǎn)速自動(dòng)控制功能(自適應(yīng)泵的負(fù)荷);可滿足有機(jī)溶劑要求的可選配件;搭載高性能通信功能;優(yōu)良的控制管理方式

(數(shù)據(jù)保存功能、警報(bào)履歷備份)


6.EV-SA型干式真空泵

EV-SA 型是無(wú)需冷卻水、安裝方便的小型風(fēng)冷干式真空泵。以節(jié)能低噪為特點(diǎn),適合各種分析機(jī)器、電子顯微鏡等清潔抽氣用途。

特 點(diǎn)小型風(fēng)冷泵;低噪音、低功耗;電源即插即用,安裝靈活;通過(guò)CE、NRTL海外認(rèn)證。


7.EV-A10型干式真空泵

EV-A10 型是無(wú)需冷卻水、安裝方便的小型風(fēng)冷干式真空泵。在接近大氣壓環(huán)境下的抽氣速率優(yōu)異,是反復(fù)進(jìn)行空氣抽吸用途的選擇。

特 點(diǎn)般真空抽氣用的小型風(fēng)冷泵;適用于大氣壓抽氣,抽氣峰值速率1000L/min;電源即插即用,安裝靈活;通過(guò)CE、NRTL海外認(rèn)證,


8.

EV-PA型干式真空泵是以小型、輕量、節(jié)能為特點(diǎn)的清潔用途風(fēng)冷干式真空泵。這款新一代干式真空泵有著即插即用的便攜性,并且采用了非接觸式密封設(shè)計(jì)以延長(zhǎng)使用壽命。

特 點(diǎn)小型、輕量;風(fēng)冷式、無(wú)需潤(rùn)滑油、即插即用;非接觸式密封設(shè)計(jì),無(wú)需更換封層、延長(zhǎng)使用壽命。















































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