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日本EBARA荏原 真空封裝干式真空泵

日本EBARA荏原 真空封裝干式真空泵

應用行業

半導體制造行業、SEMI半導體、PV 光伏、LED行業、Medical醫療制藥、LIB 鋰電池、FPD 平板顯示、AUTO 汽車。

工業產品、化學、醫療、生物等基礎科學領域。

1 半導體技術已廣泛應用于電腦、智能手機、家電、汽車、醫療設備等日常生活中的多種設備中。

干式真空泵在半導體的制作流程中的應用包括蝕刻和CVD、清洗、灰化、沉積、離子注入、外延生長、平坦化處理等。

2 太陽能光伏發電系統，是一種利用太陽電池半導體材料的光伏效應，將太陽光輻射能轉變為電能的一種發電系統。近年來，光伏行業得到了迅猛發展。真空技術在光伏行業中有著廣泛的應用，真空泵也是光伏產品制造過程中的設備。

應用環節

?硅片生產?：在硅片生產過程中，干式真空泵提供高精度的真空環境，確保硅晶體的拉制質量?。

?電池片制造?：在電池片的制造過程中，干式真空泵用于真空封裝，確保電池片中的材料質量和性能?。

?電池組件封裝?：在電池組件的封裝過程中，干式真空泵提供穩定的真空環境，確保組件的質量和性能?。

3 LED行業應用

有效應用于LED制造的各類制程中

隨著顯示器從 LCD 到 LED 到 OLED 過渡，更精確的測量和精密的控制是必需的要求。 正是基于這個原因，顯示器制造業不斷投資于新的技術和功能。

EST10N 干式（無油）真空泵設計為獨立螺桿泵，由 NiResist 制成，這是一種以其優異的耐腐蝕性而聞名的固體鑄造材料，惡劣、粉狀和腐蝕性應用。

專為產生反應性化學副產品的惡劣應用而設計，并制造成為當今市場上擁有成本的泵。

抽速（60 Hz）： 1,000 l/min

EV-X型作為中等負荷工藝專用的干式真空泵，搭載荏原的節能技術，采用面向自動化工廠制造的優化模塊設計，并進一步實現了小型化和節能化。

通過大范圍的溫度控制，擴大了適用工藝范圍。因同一機型能夠覆蓋多種工藝，能夠優化備用設備的庫存，減少用于維護和培訓的人力時間，并且能夠靈活應對未來的工藝擴展。特定以大幅的溫度控制實現大范圍的工藝覆蓋；低能耗、占地小；可耐受腐蝕性氣體（采用標準耐腐蝕材料）；適用案例：各種蝕刻以及CVD、灰化、離子注入、外延生長等。

2.EEV-S 型為獨立安裝的羅茨型干泵，有著從輕制程工藝到腐蝕性工藝的廣泛應用范圍。擁有抽氣速率可變、通信功能等豐富附

加功能的同時，實現了“ 低能耗、占地小、輕量化 "。

特 點

低能耗占地小輕量化方面達到業內水平;耐腐蝕材料、氦氣吹掃功能(可選);在不同頻率(50/60Hz)下性能一致,通過增強的傳感功能減少停機時間，

3.EV-M型可應用于在半導體、液晶和太陽能電池制造工藝中有副產物生成的重制程工藝。同時兼顧了對重制程工藝和節能的需求，實現了停機風險的減少和運行成本的降低。

特 點產品系列豐富，可應對多種工藝、抽氣速率需求;兼顧高負荷與低功耗;可應對腐蝕性氣體(標配耐腐蝕材料)

4.EST型采用螺桿型轉子,可應對CVD等工藝副產物的生成,并具備大流量抽氣、耐腐蝕性、抽氣速率可變、通信功能等額外功能。

特 點

可滿足副產物生成的工藝(泵內氣體可保持高溫);抽氣速率高、流量大;搭載轉速自動控制功能(自適應氣體流量大小);

可應對腐蝕性氣體(標配耐腐蝕性材料);

搭載高性能通信功能優良的控制管理方式(數據保存功能、警報履歷備份)

5.ESA型:干式真空泵

ESA型在LCD濺鍍、真空干燥、大型load-lock等需要高速抽氣的場景表現出色。具備流量自適應轉速調整、通信功能等額外功能。

特 點適用于大型真空腔室的高速抽氣場景，搭載轉速自動控制功能(自適應泵的負荷);可滿足有機溶劑要求的可選配件;搭載高性能通信功能;優良的控制管理方式

(數據保存功能、警報履歷備份)

6.EV-SA型干式真空泵

EV-SA 型是無需冷卻水、安裝方便的小型風冷干式真空泵。以節能低噪為特點，適合各種分析機器、電子顯微鏡等清潔抽氣用途。

特 點小型風冷泵;低噪音、低功耗;電源即插即用，安裝靈活;通過CE、NRTL海外認證。

7.EV-A10型干式真空泵

EV-A10 型是無需冷卻水、安裝方便的小型風冷干式真空泵。在接近大氣壓環境下的抽氣速率優異，是反復進行空氣抽吸用途的選擇。

特 點般真空抽氣用的小型風冷泵;適用于大氣壓抽氣，抽氣峰值速率1000L/min;電源即插即用，安裝靈活;通過CE、NRTL海外認證,

8.

EV-PA型干式真空泵是以小型、輕量、節能為特點的清潔用途風冷干式真空泵。這款新一代干式真空泵有著即插即用的便攜性，并且采用了非接觸式密封設計以延長使用壽命。

特 點小型、輕量;風冷式、無需潤滑油、即插即用;非接觸式密封設計，無需更換封層、延長使用壽命。