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EBARA荏原 干式真空泵配備高溫功能

EBARA荏原 干式真空泵配備高溫功能

FPD行業應用

平板顯示器（Flat Panel Display，FPD）面板的生產制造過程非常繁復，從一塊玻璃基板到出廠成品至少需要 300 道流程工藝，全程需在無塵的環境、精密的技術工藝下進行。

所以，高度可靠的真空供應在面板生產過程中尤為重要。平板顯示器（FPD）制造制程需要能夠支持巨大加工室，并在最大可靠性的情況下輸送高氣體流速的真空和減排設備。需要使用真空系統來泵送有毒、自燃和腐蝕性氣體，并處理制造制程艙中形成的大量固態制程副產物。

GV行業應用

GV泛指一般真空領域，類似化工、醫療、食品、科研等領域均有對真空的需求。

工業產品、化學、醫療、生物等基礎科學領域都會使用到分析裝置。

而要達到高敏感度與高精度的分析，真空環境則是的一環。

荏原的干式真空泵不僅可以提供清潔的真空環境，潔凈的排氣結構、小巧方便又低噪音的設計也便于使用在研究室及實驗室的分析設備中。

應用行業

半導體制造行業、SEMI半導體、PV 光伏、LED行業、Medical醫療制藥、LIB 鋰電池、FPD 平板顯示、AUTO 汽車。

工業產品、化學、醫療、生物等基礎科學領域。

1 半導體技術已廣泛應用于電腦、智能手機、家電、汽車、醫療設備等日常生活中的多種設備中。

干式真空泵在半導體的制作流程中的應用包括蝕刻和CVD、清洗、灰化、沉積、離子注入、外延生長、平坦化處理等。

2 太陽能光伏發電系統，是一種利用太陽電池半導體材料的光伏效應，將太陽光輻射能轉變為電能的一種發電系統。近年來，光伏行業得到了迅猛發展。真空技術在光伏行業中有著廣泛的應用，真空泵也是光伏產品制造過程中的設備。

應用環節

?硅片生產?：在硅片生產過程中，干式真空泵提供高精度的真空環境，確保硅晶體的拉制質量?。

?電池片制造?：在電池片的制造過程中，干式真空泵用于真空封裝，確保電池片中的材料質量和性能?。

?電池組件封裝?：在電池組件的封裝過程中，干式真空泵提供穩定的真空環境，確保組件的質量和性能?。

3 LED行業應用

有效應用于LED制造的各類制程中

隨著顯示器從 LCD 到 LED 到 OLED 過渡，更精確的測量和精密的控制是必需的要求。 正是基于這個原因，顯示器制造業不斷投資于新的技術和功能。

EST10N 干式（無油）真空泵設計為獨立螺桿泵，由 NiResist 制成，這是一種以其優異的耐腐蝕性而聞名的固體鑄造材料，惡劣、粉狀和腐蝕性應用。

專為產生反應性化學副產品的惡劣應用而設計，并制造成為當今市場上擁有成本的泵。

抽速（60 Hz）： 1,000 l/min

EV-X型作為中等負荷工藝專用的干式真空泵，搭載荏原的節能技術，采用面向自動化工廠制造的優化模塊設計，并進一步實現了小型化和節能化。

通過大范圍的溫度控制，擴大了適用工藝范圍。因同一機型能夠覆蓋多種工藝，能夠優化備用設備的庫存，減少用于維護和培訓的人力時間，并且能夠靈活應對未來的工藝擴展。特定以大幅的溫度控制實現大范圍的工藝覆蓋；低能耗、占地小；可耐受腐蝕性氣體（采用標準耐腐蝕材料）；適用案例：各種蝕刻以及CVD、灰化、離子注入、外延生長等。

2.EEV-S 型為獨立安裝的羅茨型干泵，有著從輕制程工藝到腐蝕性工藝的廣泛應用范圍。擁有抽氣速率可變、通信功能等豐富附

加功能的同時，實現了“ 低能耗、占地小、輕量化 "。

特 點

低能耗占地小輕量化方面達到業內水平;耐腐蝕材料、氦氣吹掃功能(可選);在不同頻率(50/60Hz)下性能一致,通過增強的傳感功能減少停機時間，

3.EV-M型可應用于在半導體、液晶和太陽能電池制造工藝中有副產物生成的重制程工藝。同時兼顧了對重制程工藝和節能的需求，實現了停機風險的減少和運行成本的降低。

特 點產品系列豐富，可應對多種工藝、抽氣速率需求;兼顧高負荷與低功耗;可應對腐蝕性氣體(標配耐腐蝕材料)

4.EST型采用螺桿型轉子,可應對CVD等工藝副產物的生成,并具備大流量抽氣、耐腐蝕性、抽氣速率可變、通信功能等額外功能。

特 點

可滿足副產物生成的工藝(泵內氣體可保持高溫);抽氣速率高、流量大;搭載轉速自動控制功能(自適應氣體流量大小);

可應對腐蝕性氣體(標配耐腐蝕性材料);

搭載高性能通信功能優良的控制管理方式(數據保存功能、警報履歷備份)

5.ESA型:干式真空泵

ESA型在LCD濺鍍、真空干燥、大型load-lock等需要高速抽氣的場景表現出色。具備流量自適應轉速調整、通信功能等額外功能。

特 點適用于大型真空腔室的高速抽氣場景，搭載轉速自動控制功能(自適應泵的負荷);可滿足有機溶劑要求的可選配件;搭載高性能通信功能;優良的控制管理方式

(數據保存功能、警報履歷備份)

6.EV-SA型干式真空泵

EV-SA 型是無需冷卻水、安裝方便的小型風冷干式真空泵。以節能低噪為特點，適合各種分析機器、電子顯微鏡等清潔抽氣用途。

特 點小型風冷泵;低噪音、低功耗;電源即插即用，安裝靈活;通過CE、NRTL海外認證。

7.EV-A10型干式真空泵

EV-A10 型是無需冷卻水、安裝方便的小型風冷干式真空泵。在接近大氣壓環境下的抽氣速率優異，是反復進行空氣抽吸用途的選擇。

特 點般真空抽氣用的小型風冷泵;適用于大氣壓抽氣，抽氣峰值速率1000L/min;電源即插即用，安裝靈活;通過CE、NRTL海外認證,

8.

EV-PA型干式真空泵是以小型、輕量、節能為特點的清潔用途風冷干式真空泵。這款新一代干式真空泵有著即插即用的便攜性，并且采用了非接觸式密封設計以延長使用壽命。

特 點小型、輕量;風冷式、無需潤滑油、即插即用;非接觸式密封設計，無需更換封層、延長使用壽命。