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產品介紹
ASAHI-SPECTRA朝日分光 光學式膜厚計 OMD-1000
ASAHI-SPECTRA朝日分光 光學式膜厚計 OMD-1000
這是一種光譜薄膜厚度監測器，使用單色光監測基板在氣相沉積過程中的光強度變化。 它也用于我們自己的氣相沉積設備，并在充滿作為氣相沉積部件制造商專業知識的膜厚監控裝置中完成。它被連接到氣相沉積設備上，并監測薄膜厚度。
它可以按照右側所示進行安裝。
| 型式 | OMD-1000 型 |
| 光譜儀類型 | Czerny-Turner單色 |
| 波長范圍 | 保修范圍：380~900nm工作 范圍：350~1100nm |
| 波長分辨率 | surito0.5mm：4.2nm[546nm] surito1.0mm：8.3nm[546nm] |
| 波長精度 | ±1.0納米 |
| 最小波長饋源 | 0.1 納米 |
| 外部控制 | RS232C 控制器 |
| 外部輸出端子 | DC0~2V（滿量程） |
| 采樣間隔 | 100ms 或更長 |
| 靜電放電測試耐壓 | ±5 kV（實際電壓為 8 kV） |
| 光源 | 12V100W 鹵素燈 |
| 光量安定性 | ±0.1%/h 以下 |
| 輸入電壓 | AC100V 50/60Hz |
| 允許的輸入電壓 | AC85~132V 交流 |
| 視在功率 | 340VA 或更低 |
| 使用環境 | 溫度：10~35°C，濕度 ：20~80% |
長處
緊湊的設計，帶有集成光譜儀
提高抗噪性，實現可靠的膜厚監測（靜電放電測試耐壓 ±5kV）
可通過 PC 的命令自動控制
控制器內置于接收器本體中，以實現高性價比。
增強的波長范圍
以前的型號是濾光片型波長選擇，但新產品采用了我們經過驗證的光譜儀，現在可以選擇任何波長。
薄膜厚度變化的信號從電壓輸出更改為與個人計算機兼容的數字輸出，控制機構由個人計算機的命令控制，而不是手動作。 此外，通過I/F直接連接個人計算機的薄膜測厚儀本體進行控制，因此沒有其他制造商的控制器，因此是一個非常緊湊的系統。
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