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合肥重光電子科技有限公司
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MSC-150T-桌上型旋轉涂布機
  • MSC-150T-桌上型旋轉涂布機
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貨物所在地:安徽合肥市

更新時間:2025-03-22 12:06:12

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桌上型旋轉涂布機將溶液涂覆在硅片、FTO、ITO、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要應用于鈣鈦礦電池和光刻膠涂敷成膜等領域。主要應用于4、6寸樣品。該款可為客戶提供貼牌服務。

  MSC-150T可編程旋轉涂布機,采用分體式結構設計,7英寸觸摸屏,工業級直流電機及高級PLC控制,直觀清晰的程序界面與設計,美觀大方。適合涂膠處理? 10~150mm圓晶尺寸基片。該旋轉涂布機結構緊湊、簡單易用,可編程實現單步旋涂和多步編程旋涂。旋涂內腔可直接取下來,方便清洗。


產品參數:

適用晶元尺寸范圍:?10~150mm;

旋涂速度:100~10000rpm

轉速分辨率:1rpm;

旋涂加速度:100-10000rpm/s

最大旋涂時間:3000s;

旋涂時間精度:0.1s;

可存儲多種不同基片的旋轉涂敷工藝參數。每個涂敷工藝流程可以設置多步不同的旋轉速度

產品外型尺寸:300mm(W)x 380mm(D) x 260mm(H)

腔體尺寸:?220mm

重量:10KG

電壓:220V/50HZ

配置:標配吸盤一組(10、25、50、100)mm、無油真空泵一臺


產品特點:

旋涂內腔為耐酸堿材料PTFE,

采用分體式結構,易清潔和移動;

7英寸彩色觸屏控制,易學易用;

精確設置實驗參數,運行狀態實時顯示;

采用高級PLC程序控制,可編程,實現快速旋涂和多步編程旋涂;

具有電機進膠保護功能;管路易疏通設計;


更多需求可咨詢,提供分體式、嵌入式等定制




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