光譜儀，又稱分光儀。以光電倍增管等光探測器在不同波長位置，測量譜線強度的裝置。其構造由一個入射狹縫，一個色散系統，一個成像系統和一個或多個出射狹縫組成。以色散元件將輻射源的電磁輻射分離出所需要的波長或波長區域，并在選定的波長上(或掃描某一波段)進行強度測定。分為單色儀和多色儀兩種。

1 啟動

1.1 如停機在2-8小時，則外冷水需先運轉10分鐘，內冷水需先運轉5分鐘;如停機在8小時以上，則外冷水需先運轉15分鐘，內冷水需先運轉10分鐘。

1.2 開機順序為打開外冷水

1.3 打開內冷水(COOLER)開關

1.4 打開CTROL、VACUUM開關(觀察真空度是否下降到10以下，觀察內冷卻水的電導率是否在10以下)

1.5 打開HEATER

1.6 打開板高壓開關

1.7 打開電腦，打開MXF操作軟件，點擊Monitor，觀察狀態并檢查是否聯機

1.8 一切正常后，打開面板右下方X-RAY開關

2 關機

在電壓正常情況下，需進行關機調試或其他工作，則可進行常規關機工作。

2.1 待機狀態為管壓30KV、管流20mA。若需關機，則可點擊Maintenance欄位-彈出Maintenance-MXF-點擊Instrument Setup-彈出Instrument Setup-在X-ray下方管壓、管流欄位中，將兩項分別按(20、10)-(20、0)-(10、0)-(0、0)進行降低，較為后歸0。

2.2如果有必要關閉內循環水，則等待5分鐘后，關閉內循環水，如無必要，則不關閉--如果有必要關閉外循環水，則等待10分鐘后關閉外循環水，如無必要，則不關閉。

2.3 關閉配電箱開關，使儀器*斷電，可進行維護檢查操作。