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ICP光譜法是上世紀60年代提出、70年代迅速發展起來的一種分析方法。目前ICP光譜儀主要分為多道型、單道掃描型以及全譜直讀型，其中多道型和單道掃描型代表的是80年代的技術水平，它們以光電倍增管為檢測器，技術上非常成熟，但也較落后，其中多道型已幾乎退出歷史舞臺，單道掃描型以其合適的價格和靈活方便仍占有一定的*。全譜直讀型儀器經近十年的不斷完善和發展，目前已成為ICP光譜儀的主流。
根據不同的應用領域，ICP光譜儀又有垂直觀測、水平觀測和雙向觀測之分，其中垂直觀測型儀器主要適用于基體較為復雜的冶金、地礦、有色金屬等領域；水平觀測型儀器適用于基體較為簡單的水質、環保、食品衛生等領域；雙向觀測型儀器實際上是以水平觀測為主附加垂直觀測的儀器，它的應用范圍仍是基體較為簡單的領域，雙向觀測能彌補水平觀測中所存在的易電離干擾、線性范圍變窄等一些缺陷。
根據不同的應用領域，ICP光譜儀又有垂直觀測、水平觀測和雙向觀測之分，其中垂直觀測型儀器主要適用于基體較為復雜的冶金、地礦、有色金屬等領域；水平觀測型儀器適用于基體較為簡單的水質、環保、食品衛生等領域；雙向觀測型儀器實際上是以水平觀測為主附加垂直觀測的儀器，它的應用范圍仍是基體較為簡單的領域，雙向觀測能彌補水平觀測中所存在的易電離干擾、線性范圍變窄等一些缺陷。
ICP光譜儀應用范圍：
1、地礦樣品的分析：包括地質樣品、礦石及礦物等。
2、動植物及生化樣品的分析：包括植物、中藥及動物組織、生物化學樣品等。
3、核工業產品的分析：包括核燃料、核材料等。
4、食品及飲料的分析：包括食品、飲料等。
5、化學化工產品的分析：包括化學試劑化工產品無機材料化妝品油類等。
6、鋼鐵及其合金的分析：包括碳素鋼、鑄鐵、合金鋼、高純鐵、鐵合金等。
7、有色金屬及其合金的分析：包括有色金屬及其合金、稀有金屬及其合金、貴金屬、稀土元素及其化合物。
8、水質樣品的分析：包括飲用水、地表水、礦泉水、高純水及廢水等。
9、環境樣品的分析：包括固體廢物、土壤、粉煤灰、大氣飄塵等。
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