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干涉膜厚儀主要基于光波的干涉現象進行測量。當光束照射到薄膜表面時，部分光波會在薄膜表面反射，部分光波則會透射進入薄膜內部并在其底面反射回來。這兩束反射光波(即表面反射光和底面反射光)相遇時會產生干涉現象。通過分析干涉圖案(如光波的相位差或光強分布)，干涉膜厚儀可以計算出薄膜的準確厚度。
干涉膜厚儀主要用于測量薄膜的厚度。這種儀器利用光的干涉現象進行測量，通過捕捉和分析干涉條紋的數量和間距來計算膜層的厚度。干涉膜厚儀的應用范圍廣泛，包括但不限于：
膜厚測量：可以應用于半導體膜、微納米軟物質、各種材質的薄膜和非金屬上的粗糙膜層等材料的厚度測量。
材料科學研究：在材料科學研究中，干涉膜厚儀可以幫助研究人員準確測量薄膜的厚度，從而研究材料的性能和結構。
工業生產：在工業生產中，干涉膜厚儀可以用于監控涂層厚度的均勻性和一致性，確保產品質量。
光學和半導體制造：在光學鍍膜和半導體制造過程中，干涉膜厚儀可以用于準確控制膜層的折射率和厚度，以及監測薄膜的厚度和組分等關鍵參數。
干涉膜厚儀的工作原理基于光的干涉現象，當光波通過待測膜層時，與膜層表面和底層反射的光波發生干涉，形成干涉條紋。這些干涉條紋的數量和間距與膜層的厚度直接相關，通過捕捉和分析這些干涉條紋，可以準確計算出膜層的厚度。這種測量方法具有高精度、高穩定性和高重復性的特點，因此在多個領域展現了大的應用潛力。
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