本閥主要用于超純氣體分析系統的壓力調節和恒定,結構采用特種不銹鋼膜片作為彈性元件,死體積小、平衡速度快,使用溫度范圍寬,性能穩定;且內腔結合處幾無橡膠密封件,避免了揮發性物質的產生。其*的性能和小的安裝體積為儀器和便攜式儀器氣路控制部件的。
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