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制藥純水設備的工藝流程主要包括預處理、反滲透系統、儲存與供水、殺菌與過濾四個部分，以下是具體介紹：
1.預處理
原水箱：制藥純水的原水通常為飲用水或天然水，原水箱用于儲存原水，為后續處理提供穩定的供水壓力。其容積需綜合考慮系統的產量、反洗耗水、空間限制和儲存時間等因素。
原水增壓泵：原水經原水箱后，通過水泵增壓，為后續的過濾和反滲透等過程提供足夠的壓力。
多介質過濾器：利用石英砂、活性碳、無煙煤等過濾介質，在一定壓力下把濃度較高的水通過一定厚度的粒狀或非粒狀過濾材料，有效除去原水中的懸浮物、有機物、膠體、微生物等雜質，使水澄清，可減小精密過濾器的更換頻率。
阻垢裝置：為了防止水中的鈣、鎂離子在水濃縮時在反滲透膜表面的結垢，在反滲透前加入阻垢劑，它是一種高效液體反滲透專用阻垢劑，可控制反滲透系統的無機物結垢，減少微顆粒的污堵現象。
精密過濾器：安裝在反滲透設備前，由5μm的精密濾芯組成筒式過濾器，可防止懸浮物或小顆粒進入反滲透系統，堵塞或擊穿反滲透膜。
2.制藥純水設備反滲透系統
一級高壓泵：精密過濾器的出水經入水電磁閥后由一級高壓泵增壓進入一級反滲透系統。
一級反滲透膜：采用10只反滲透膜串聯運行的方式，在壓力作用下，水通過反滲透膜，來水一部分變成一級純水進入中間水箱，另一部分變成濃水排除。
PH調節裝置：由于反滲透可除去碳酸鹽和碳酸氫鹽而無法去除CO?，而CO?在水中是以碳酸氫根和氣體的形式存在的，所以一級純水呈偏酸性，故加堿可消耗純水中的CO?，使CO?變成碳酸鹽及碳酸氫鹽而被二級反滲透膜去除，滿足產品水對PH值和電阻率的要求。
二級高壓泵：一級純水經過PH調節后進入二級反滲透系統，由二級高壓泵增壓進入二級反滲透膜。
二級反滲透膜：進一步對水進行過濾，提高水的純度，二級純水被送入純水箱內儲存。
3.儲存與供水
純水箱：二級純水進入純水箱內儲存，水箱上配有疏水性呼吸器、臭氧發生器等附件，可防止水質下降。
純水泵：純水箱中的水先由純水泵經紫外線殺菌、終端過濾器而后送入純水網管內供各用水點循環使用。
4.殺菌與過濾
紫外線殺菌器：二級純水在進入供水管網前，需要經過高功率的紫外線殺菌器殺菌，以去除純水儲存過程中滋生的細菌。
終端過濾器：最后再經具有1μm濾徑的終端過濾器過濾后最終進入供水管網，同時按規程要定期對純水罐及供水管網進行臭氧消毒。
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