科里奧利力原理

通過測量流體在振動管道中產生的科里奧利力來計算質量流量。此方法直接測量質量流量，適用于大流量高溫高壓的工業場景。

三、核心組件與系統架構

MFC由四大核心模塊構成：

流量傳感器：負責實時檢測流量，如熱敏元件或振動管。

層流元件：將流體分為測量流與參考流，確保檢測穩定性。

調節閥：根據控制信號動態調整開度，常見類型包括電磁閥和比例閥。

控制器：集成信號處理與反饋算法，如PID控制，實現流量閉環調節。

四、技術優勢與性能參數

高精度：易度MFC精度可達±0.5% S.P。

快速響應：先進傳感器設計使響應時間縮短至0.1秒內。

環境適應性：支持-50~110°C介質溫度，部分型號具備IP67防護等級，適用于腐蝕性、高溫環境。

智能化擴展：支持RS485、Modbus、PROFIBUS等協議，可集成遠程監控與數據采集系統。

五、應用領域與典型案例

半導體制造

在化學氣相沉積（CVD）中控制硅烷氣體流量，確保薄膜均勻性。

等離子刻蝕工藝中精確調節反應氣體比例，提升蝕刻精度。

石油化工

催化重整過程中調控氫氣流量，優化汽油辛烷值。

火炬氣監測與裂解爐燃料控制，保障生產安全。

醫療設備

呼吸機與麻醉機的氧氣流量控制，誤差需低于1%以保障患者安全。

環保監測

大氣污染物（如SO?、NO?）采樣分析，流量穩定性直接影響檢測準確性。

質量流量控制器作為工業自動化的“流量守門員”，其技術演進持續推動著精密制造、科學研究的邊界。未來，隨著新材料與物聯網技術的融合，MFC將在更多高精尖領域展現其核心價值。