手機版
化工儀器網手機版
化工儀器網小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關注視頻號
雙光子無掩膜光刻系統利用高能激光在非線性光學晶體中產生的雙光子吸收效應，通過激光與材料相互作用引發局部光化學反應，直接實現微納結構的加工。無需傳統掩膜版，極大簡化了工藝流。
1、核心優勢：
超高精度：分辨率達100nm，表面粗糙度Ra＜5nm，支持2.5D/3D微納結構加工。
設計自由度：無需掩膜，通過CAD直接設計結構，支持快速迭代與小批量定制化生產。
材料兼容性：適用于金屬、半導體（如InP、SOI）、聚合物（如光敏樹脂）等多種材料。
工業化潛力：如Nanoscribe的Quantum X系統可實現6英寸晶圓級批量加工，通宵產能達200個標準結構。
2、應用場景：
微電子與光子學：制造微處理器、MEMS傳感器、光子晶體等，提升器件集成度與性能。
生物醫學：打印生物芯片、微流控芯片、細胞支架等，用于疾病診斷、藥物篩選及組織工程。
光學器件：加工自由曲面透鏡、光纖耦合器等，實現光學組件的小型化與功能集成。
納米技術：制備納米傳感器、量子點等，推動納米電子與納米光子學的研究。
免責聲明
- 凡本網注明“來源：化工儀器網”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品，未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：化工儀器網”。違反上述聲明者，本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源（非化工儀器網）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發表之日起一周內與本網聯系，否則視為放棄相關權利。
采購中心