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光刻膠溶液和 SOG 中的顆粒可以在 0.1 μm 范圍內測量
可連接到多點監控系統
規范
| 光學系統方式 | 橫向散射法 |
|---|---|
| 光源 | 用半導體激光器泵浦的固體激光器（波長 532 nm，額定功率 500 mW） |
| 接液部件材料 | 合成石英，PFA |
| 粒度分類 | 0.1 μm ~ 0.5 μm 范圍內的 10 個級別（可選 0.07 μm，用于純水等透明液體） 運輸：0.1 μm 或更高、0.15 μm 或更高、0.2 μm 或更高、0.3 5 個 ≥ μm 和 ≥ 0.5 μm 的水平 |
| 額定流量 | 5 毫升/分鐘 |
| 最大顆粒計數濃度 | 9,600 單位/mL（計數丟失在 10% 以內） |
| 權力 | DC12 V（由 KE-40B1 供電） |
| 大小 | 約 164 毫米（水平）× 464 毫米（寬）× 305 毫米（深）毫米（不包括突出部分） |
| 重量 | 約 12.5 kg |
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