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光刻膠溶液和 SOG 中的顆粒可以測量 0.15 μm 以上的顆粒
可連接到多點監控系統
規范
| 光學系統方式 | 橫向散射法 |
|---|---|
| 光源 | 二極管激光器（波長 830 nm，額定功率 200 mW） |
| 接液部件材料 | 合成石英，PFA |
| 粒度分類 | 0.15 μm~0.5 μm 范圍內的 10 個級別運輸：0.15 μm、0.2 μm、0.3 μm、0.5 μm 或更高的 4 個級別 |
| 額定流量 | 10 毫升/分鐘 |
| 最大顆粒計數濃度 | 1,200 單位/mL（計數丟失在 5% 以內） |
| 權力 | DC12 V（由 KE-40B1 供電） |
| 大小 | 約 160 毫米（水平）× 300 毫米（寬）× 251 毫米（深）毫米（不包括突出部分） |
| 重量 | 約 7.5 kg |
粒子計數器是測試空氣塵埃粒子顆粒的粒徑及其分布的專用儀器，由顯微鏡發展而來，經歷了顯微鏡、沉降管、沉降儀、離心沉降儀、顆粒計數器、激光空氣粒子計數器、凝結核粒子計數器、多通道多功能粒子計數器等過程， 廣泛應用于為各省市藥檢所、血液中心、防疫站、疾控中心、質量監督所等機構、電子行業、制藥車間、半導體、光學或精密機械加工、塑膠、噴漆、醫院、環保、檢驗所等生產企業和科研部門。
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