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工業級光柵檢測:卓立四軸定位系統實現微米級精度與效率雙飛躍

來源:北京卓立漢光儀器有限公司   2025年04月14日 11:20  

當你的 VR 眼鏡出現模糊時, 問題可能藏在納米級光柵里

消費者抱怨 AR 設備畫面不清晰? 工業質檢員反復校準色度計?這些問題的根源往往指向光柵元件的微觀缺陷——

?納米級的周期誤差  可導致意想不到的光線傳輸

?K 矢量畸變  引發光線傳播串擾,造成成像模糊 、色偏

?傳統接觸式測量  劃傷鍍膜層 、精度低 、無法精確測試 K 矢量卓立光柵測試系統 ,重新定義納米級光柵器件的質量基線

工業級光柵檢測:卓立四軸定位系統實現微米級精度與效率雙飛躍

設備內部實拍

一 、 Littrow 結構+糾偏算法 :破解衍射光柵的"基因密碼"

工業級光柵檢測:卓立四軸定位系統實現微米級精度與效率雙飛躍

Littrow 結構示意圖

▌λ/10000--0.02nm 級光柵周期解析精度

基于 Littrow 自準式入射結構, 系統通過精密調整入射角與衍射光強反饋, 實現 0.02nm 級 光柵周期測試靈敏度 。相較傳統透射電子顯微鏡 、 原子力顯微鏡分析法, 分辨率提升 100倍。

▌0.005° --K 矢量高精度測試

獨*算法實時解算光柵面內 K 矢量角度, K 矢量精度可達 0.005° ,   全面監測光柵器件面內 K 矢量異常 。某 AR 光波導客戶借此將產品調試周期從 48 小時縮短至 6 小時。

▌支持多種光柵參數測試

光柵測試系統支持多類型光柵測試,包括 :閃耀光柵、反射全息光柵、透射全息光柵和布拉 格體全息光柵等 。助力 VR 、AR 行業客戶 。(實際使用請咨詢)

二、硬核技術矩陣:實驗室精度,工業級可靠性

?卓立四軸軸微米級定位系統

位移軸光柵尺反饋,重復定位精度±3μm,閉環分辨率:1μm

旋轉軸光柵尺反饋,重復定位精度±0.003°,閉環分辨率:0.000152°

支持Φ254mm 超大光柵片全域 mapping,40s 完成單點測量,較手動調節效率提升 50 倍。

工業級光柵檢測:卓立四軸定位系統實現微米級精度與效率雙飛躍

光柵 mapping 結果

三、從實驗室到產線:全場景解決方案

?科研模式

開放 API 接口,支持自定義測量 Recipe,支持自定義數據處理。

?工業模式

真空吸附,自動上下料,無縫對接 MES/QMS 系統,全自動檢測

四 、 系統關鍵參數一覽表

單點周期重復精度

≤0.02nm

單點周期絕對精度

≤ ±0.1nm

單點光柵面內矢量角絕對精度

≤±0.01°

單點光柵面內矢量角重復精度

≤±0.005°

單點測試時間

45s

可測光柵類型

反/透全息光柵 、 閃耀光柵 、全息體光柵

可測光柵尺寸

小于 8 英寸(支持定制)

五 、全面的軟件功能 ,友好的軟件界面

工業級光柵檢測:卓立四軸定位系統實現微米級精度與效率雙飛躍

六 、完整與快速的服務網絡

?資質認證 :卓立漢光以自主研發為核心,深耕光電儀器領域 26 年,公司布局全球化市場 通過高精度產品和定制化解決方案,服務于高校、科研院所及工業客戶,助力光電領域的技術探索

?服務保障 :技術和服務團隊超 300 人,在上海 、深圳 、北京 、成都 、西安 、長春 、鄭州有限分公司,提供“終身保固”承諾,確保產品可靠性與售后服務響應速度。

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