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日本EBARA荏原 干式真空泵 EV-X300N
日本EBARA荏原 干式真空泵 EV-X300N
產品介紹
作為中等負荷工藝專用的干式真空泵，搭載荏原有的節能技術，采用面向自動化工廠制造的優化模塊設計，并進一步實現了小型化和節能化。
通過大范圍的溫度控制，擴大了適用工藝范圍。因同一機型能夠覆蓋多種工藝，能夠優化備用設備的庫存，減少用于維護和培訓的人力時間，并且能夠靈活應對未來的工藝擴展。此外，在所有工藝中實施最佳的溫度控制，從而實現工藝耐受性的提高，并且通過延長部件的更換周期，幫助減少TCoO。
應對的應用例：各種蝕刻和CVD、灰化、離子植入、外延生長等。
EV-X型
小型節能，僅需一臺設備即可覆蓋廣泛的工藝流程
支持中等負荷工藝
支持高溫化控制
節能
采用標配耐腐蝕性材料
增強耐腐蝕性的選配件
不同頻率（50Hz/60Hz）下保持穩定性能
無油
可支持CE標志/SEMI-S2/NRTL
省空間化
產品規格
| 型式 | EV-X100N | EV-X200N | EV-X300N |
|---|---|---|---|
| 最大處理風量(L/min) | 10,000 | 20,000 | 30,000 |
| 到達壓力(Pa) | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 電源規格 | 3相200-220V (50/60Hz) | 3相200-220V (50/60Hz) | 3相200-220V (50/60Hz) |
| 到達底壓時消耗電力(kW)* | 0.9 | 1 | 1.5 |
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