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「應(yīng)用案例」SDS研磨液供液系統(tǒng)液位檢測(cè) 屏蔽泡沫

來源:訊智工業(yè)技術(shù)(無錫)有限公司   2025年04月28日 08:54  

「應(yīng)用案例」SDS研磨液供液系統(tǒng)液位檢測(cè) 屏蔽泡沫


研磨液供液系統(tǒng)SDS(Slurry Delivery System)是用來為CMP設(shè)備供給研磨液的。研磨液在SDS和水或雙氧水等按一定比例混配好之后,然后通過管路再輸送到CMP機(jī)臺(tái)研磨單元的slurry arm 供研磨過程中使用。因此,SDS能夠提供流量穩(wěn)定不間斷的研磨液,精準(zhǔn)的配比,并且在輸送管路中沒有結(jié)晶,對(duì)CMP工藝非常重要。

客戶痛點(diǎn):研磨液在配比和使用過程會(huì)產(chǎn)生泡沫,普通的電容傳感器在管道上檢測(cè)液位的時(shí)候會(huì)對(duì)泡沫產(chǎn)生誤信號(hào)。

解決方案:訊巴赫智能電容傳感器SCBT 3045,采用電容調(diào)頻技術(shù)和多模態(tài)補(bǔ)償算法,有效屏蔽泡沫,穩(wěn)定檢測(cè);

「應(yīng)用案例」SDS研磨液供液系統(tǒng)液位檢測(cè) 屏蔽泡沫


產(chǎn)品特點(diǎn):

電容調(diào)頻技術(shù)和多模態(tài)補(bǔ)償算法,可靠檢測(cè)多種介質(zhì),抗掛料能力強(qiáng);

PNP/NPN 常開/常閉可設(shè)置;

Teach in模式,可以自動(dòng)識(shí)別物料,有效屏蔽泡沫;




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