內部繼電器實質上是一些存儲器單元，它們不能直接控制外部負載，只能在PLC內部起各種控制作用，或直接受外部信號控制。在梯形圖中它們也可用線圈和觸點來表示，線圈的狀態由邏輯關系控制，觸點相當于讀繼電器的狀態，因此可在梯形圖程序中被無限次使用。

歐姆龍CPM1A系列PLC的內部繼電器及其通道號表示可分為以下幾類：
        內部輔助繼電器（AR） 內部輔助繼電器的作用是在PLC內部起信號的控制和擴展作用，相當于接觸繼電器線路中的中間繼電器。歐姆龍CPM1A機共有512個的內部輔助繼電器，其編號為20000~23115，所占的通道號為200CH~231CH。內部輔助繼電器沒有掉電保持狀態的功能。
        暫存繼電器（TR） 暫存繼電器用于具有分支點的梯形圖程序的編程，它可把分支點的數據暫時貯存起來。歐姆龍CPM1A型機提供了8個暫存繼電器，其編號為TR0~TR7，在具體使用暫存繼電器時，其編號前的“TR”一定要標寫以便區別。TR繼電器只能與LD，OUT指令聯用，其他指令不能使用TR作數據位。 
        保持繼電器（HR） 保持繼電器用于各種數據的存儲和操作，它具有停電記憶功能，可以在PLC掉電時保持其數據不變。保持作用是通過PLC內的鋰電池實現的。保持繼電器的用途與內部輔助繼電器基本相同。歐姆龍CPM1A系列PLC中的保持繼電器共有320個，其編號為HR0000~HR1915，所占的通道號為HR00~HR19。在編程中使用保持繼電器時，除了標明其編號外，還要在編號前加上“HR”字符以示區別，例如“HR0001”。 
        定時/計數器（TIM/CNT） 在CPM1A系列PLC中提供128個定時/計數器，使用時，某一編號只能用作定時器或計數器，不能同時既用作定時器又用作計數器，如已使用了TIM001，就不能再出現CNT001，反之亦然。
        此外，在CPM1A系列PLC中，對于上述繼電器編號，也可以用來進行高速定時（又稱高速定時器TIMH）和可逆計數（又稱可逆計數器CNTR），它們在使用時需要用特殊指令代碼來。 
        內部繼電器（SR） 內部繼電器用于監視PLC的工作狀態，自動產生時鐘脈沖對狀態進行判斷等。其特點是用戶不能對其進行編程，而只能在程序中讀取其觸點狀態。