KLA Candela® 7100系列缺陷檢測(cè)和分類(lèi)系統(tǒng)這套檢測(cè)系統(tǒng)以激光為基礎(chǔ)，能夠?qū)τ脖P(pán)驅(qū)動(dòng)器的基板和介質(zhì)進(jìn)行高靈敏度的表面缺陷檢測(cè)，同時(shí)具有多條光學(xué)路徑，用于對(duì)亞微米凹坑和微粒進(jìn)行分類(lèi)。自動(dòng)化模型Candela 7140配有片盒對(duì)片盒傳輸系統(tǒng)。

KLA Candela® 7100系列缺陷檢測(cè)和分類(lèi)系統(tǒng)高級(jí)缺陷檢測(cè)和分類(lèi)系統(tǒng)是專(zhuān)為硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器基板和介質(zhì)而設(shè)計(jì)的。高功率雙波長(zhǎng)激光器針對(duì)當(dāng)前的關(guān)鍵缺陷挑戰(zhàn)進(jìn)行了優(yōu)化，多通道散射檢測(cè)器為全系列基板上亞微米凹坑、凸起、微粒以及被埋入的缺陷的分類(lèi)提供了更高的靈敏度。KLA Candela® 7100系列的功能和穩(wěn)定性確保了一個(gè)平臺(tái)可用于多個(gè)工藝控制應(yīng)用點(diǎn)。

功能

• 通過(guò)整個(gè)磁盤(pán)的缺陷圖對(duì)金屬和玻璃、基板和介質(zhì)上的亞微米凹坑、凸起、微粒以及被埋入的缺陷進(jìn)行檢測(cè)和分類(lèi)

• 通過(guò)整個(gè)磁盤(pán)的缺陷圖來(lái)更快地獲得結(jié)果，同時(shí)附帶對(duì)缺陷進(jìn)行分類(lèi)以及數(shù)據(jù)輸出可操作的功能

• 減少對(duì)離線檢測(cè)技術(shù)(AFM、SEM、TEM等)的依賴，從而降低總擁有成本

• 提供手動(dòng)(7110)或全自動(dòng)(7140)配置

應(yīng)用案例

• 缺陷檢測(cè)

• 劃痕和隆起檢查

• 微粒和沾污檢測(cè)

• 激光紋理分析

• 碳均勻性分析和碳空洞檢測(cè)

• 對(duì)記錄層和軟襯層進(jìn)行檢測(cè)

• 潤(rùn)滑油均勻度分析

• 磁共振成像

選項(xiàng)

• 精密的金剛石劃線

• 高靈敏度選項(xiàng)

• 磁共振成像

• 離線軟件