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 高功率等離子清洗機與擴展型一樣具有雙倍的清洗速率，高功率擴展型等離子清洗機是一款多功能的工具，適用于刻蝕有機薄膜（10--100nm）以及表面活化改性。

PDC-001-HP (115V); PDC-002-HP (230V)

 高功率等離子清洗機主要特點：

• 緊湊臺式設備、沒有RF放射、符合CE安全標準。
• 功率為低、中、高三檔可調。
• 低檔功率相當于PDC-2 擴展型等離子清洗機的高檔功率設置
• 清洗腔：長6.5英寸，直徑6英寸的耐熱玻璃腔體 , 腔蓋可拆卸
• 帶有視窗的鉸鏈門
• 自動風扇冷卻
• 集成真空泵開關
• 1/8NPT針孔閥控制氣流及腔體壓力；
• 整機尺寸：11英寸H × 18英寸W × 9英寸D；
• 重量：37 lbs；
• 選配件

1. 石英等離子清洗腔；
2. 氣體流量混合器；
3. 真空泵；

 高功率等離子清洗機參考客戶：

       蘭州大學  鄭州大學 上海交通大學 上海復旦大學 合肥工業大學 成都電子科技大學 北京大學  清華大學醫工所  蘭州化物所 中科院納米所 等等

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