目錄:安徽澤攸科技有限公司>>臺階儀>>全自動臺階儀>> JS2000B全自動臺階儀
| 產地類別 | 國產 | 價格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,公安/司法,制藥/生物制藥 |
澤攸科技臺階儀JS2000B
產品介紹
澤攸科技全自動臺階儀JS2000B是一款高精度、高分辨率的測量設備，采用一體花崗巖結構，確保測量的穩定性與可靠性。配備雙彩色攝像頭，可清晰無畸變地觀察樣品和針尖，實現精準定位與實時監控。適用于薄膜厚度、多晶硅粗糙度、翹曲度、應力及3D掃描成像等測量任務，并支持計劃任務和多點掃描批量測試，廣泛應用于半導體、材料科學等領域。其核心技術包括精密成像、自動控制和數據分析處理。
刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量
薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數測量
各式薄膜等應力測量
3D掃描成像
計劃任務和多點掃描
批量測試晶圓，批量處理數據等
應用領域
產品組成
突破三大核心技術
產品特色
技術指標
臺階高度最大范圍：≤80um
臺階高度重復性：≤0.5nm
垂直分辨率：0.05nm
探針加力范圍：0.5mg~50mg
單次掃描長度：≤55mm
晶圓尺寸：可兼容6寸、8寸Wafer
晶圓厚度：≤10mm
圖像識別系統精度:定位精度優于±10um
機械動作穩定性:馬拉松傳送測試>500片
生產效率:WPH≥10片(單面量測≥5個位置)
案例應用
18nm樣品
68um樣品
4
化工儀器網