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SEM納米力測量系統
產品介紹
產品特色
▲ 易用性強
▲ 兼容擴展性強
▲ 加熱，光學等多種模塊可選
▲ 閉環高精度、大量程力學測量
▲ 閉環納米尺度微動臺控制，位移更加精確
▲ 壓痕、劃痕、壓縮等多種模式可選
▲ 超高穩定性，輕松獲得高質量原位視頻
技術參數
功能：壓痕，壓縮，拉伸
載荷量程：100mN
力傳感分辨率：10uN
響應時間：50ms
微調臺X/Y；模式：閉環控制 行程：100(±20)um 精度：20nm
粗調臺X/Y/Z；模式：開環控制 行程：XY軸±10mm、Z軸行程10mm 最小步長：≤1nm
標準納米力臺尺寸：130*65*55mm
裸臺重量：約300g(壓痕)
樣品尺寸：≤30*30mm
選配模塊：加熱(最高400℃)、加電
應用案例
納米力臺微球壓碎過程
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