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池田屋實業(深圳)有限公司
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產品介紹
直供！！EBARA荏原 半導體用干式真空泵 EV-S30P
直供！！EBARA荏原 半導體用干式真空泵 EV-S30P
EV-S型
節能、節省空間的干式真空泵
節能
緊湊輕便
耐腐蝕材料選項
提供 N2 吹掃型號
不同頻率下性能相同（50/60Hz）
無油
符合 CE 標志/SEMI-S2/NRTL 要求
產品介紹
我們的轉子設計和空轉功能實現了高水平的節能和緊湊性。這有助于降低運行成本。
此外，還提供耐腐蝕材料選項，可用于廣泛的應用，從輕負載應用（例如負載鎖和 SEM）到腐蝕過程。
規格
| 模型 | 單元 | EV-S20 | EV-S20P/N | EV-S30 | EV-S30P | EV-S50 | EV-S50P/N | EV-S100 | EV-S100P/N | EV-S200 | EV-S200P/N | |
| 抽氣速度 | 升/分鐘 | 1,670 | 1,670 | 3,300 | 3,300 | 5,000 | 5,000 | 10,000 | 10,000 | 20,000 | 20,000 | |
| 極限壓力 | 帕 | 3 | 5 | 0.5 | 1.0 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
| 連接尺寸 | 進氣 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW80 | NW80 | NW100 | NW100 | |
| 排氣口 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW25 | NW40 | NW40 | ||
| 極限壓力下的近似功率值 | 千瓦 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.55 | 0.55 | 0.65 | 0.65 | 0.75 | 0.75 | |
| 冷卻水 | 流動 | 升/分鐘 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 |
| 溫度 | ℃ | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | |
| 氮氣 | 流動 | 帕•立方米/秒 | - | 17–20 (2.4) | - | 17–20 (2.4) | 17–20 (2.4) | 17–20 (2.4) | 17–20 (2.4) | |||
| 電源相位/電壓/頻率 | 200V 型號 | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | |
| 400V 型號 | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | - | - | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | ||
| 供電容量 | 千伏安 | 3.2 | 3.2 | 3.6 | 3.6 | 4.8 | 4.8 | 6.4 | 6.4 | 6.8 | 6.8 | |
| 近似質量 | 公斤 | 60 | 60 | 90 | 90 | 100 | 100 | 120 | 120 | 170 | 170 | |
