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當前位置：曦源科學儀器（上海）有限公司>>在線分析儀器>>質量流量計>> HORIBASEC-Z700X系列壓力補償質量流量控制器
| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 差壓式 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 環保,食品/農產品,化工,電子/電池,汽車及零部件 | 控制范圍 | 5 SCCM – 50 SLM（具體型號不同而異） |
| 支持氣體 | 多種氣體（支持用戶自定義設置） | 控制精度 | ±1.0% |
| 響應時間 | ≤1 秒 | 通信接口 | RS-485、DeviceNet、EtherCAT、模擬（0–5V/4–20mA） |
| 使用溫度 | 5～50°C | 壓力補償范圍 | 50 – 300 kPa（絕對壓力） |
HORIBA 的 SEC-Z700X系列壓力補償質量流量控制器，專為半導體、材料研究、先進制造等氣體流量控制應用設計。其集成了入口壓力傳感器，通過控制算法，實現了在壓力波動情況下依舊保持穩定、高精度的流量控制。
該系列產品支持多氣體、多量程切換，采用高潔凈設計，符合嚴苛的潔凈室和超高純氣體環境需求。
壓力補償功能：內置壓力傳感器，自動補償入口壓力波動，確保流量穩定。
多氣體 / 多量程支持（MG/MR）：用戶可根據需求自由切換氣體類型及滿量程，極大提升系統靈活性。
可變 PID 控制算法：自適應調節響應速度與精度，在整個控制范圍內均可實現快速響應（1 秒內）。
緊湊型一體化設計：整合流量傳感器、控制閥、壓力傳感器于一體，節省空間，簡化氣體供給系統結構。
高潔凈結構：
采用全 SUS-316L 不銹鋼材料
金屬隔膜密封設計
表面電拋光處理，適合高潔凈工藝環境
高精度控制性能：流量設定精度達 ±1% F.S.
多種通訊方式：支持模擬信號、RS485、DeviceNet™ 等工業標準接口，方便集成至自動化系統。
低壓損 & 高重復性：高重復性（±0.2% F.S.）和極低的壓降，提升系統效率。
| 參數 | 數值 |
| 可控氣體種類 | 多種氣體（支持用戶自定義設置） |
| 流量控制范圍 | 5 SCCM – 50 SLM（具體型號不同而異） |
| 控制精度 | ±1% F.S. |
| 重復精度 | ±0.2% F.S. |
| 響應時間 | ≤ 1 秒 |
| 壓力補償范圍 | 50 – 300 kPa（絕對壓力） |
| 工作溫度范圍 | 5°C – 50°C |
| 材料（氣體接觸部分） | SUS316L、PTFE、金屬隔膜等 |
| 表面處理 | 內表面電拋光 |
| 通訊方式 | 模擬/RS485/DeviceNet™ 等 |
| 安裝方向 | 任意方向 |
| 認證標準 | SCE、RoHS、SEMI 等 |
半導體制程（CVD、ALD、刻蝕等）
光電子器件制造
氣體輸送/分析系統
高精度化學反應流控系統
醫療器械制造與實驗室自動化
真空工藝與表面處理設備
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