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產地類別	進口	產品種類	質量式
價格區間	面議	介質分類	氣體
應用領域	環保,化工,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件	控制范圍	10 SCCM 至 1000 SLM多種量程可選
通信模式和電源	多種可選	精度	+/- 1.0%
響應時間	1s	功能	多氣體/多量程

HORIBA SEC-N100 系列數字式質量流量控制器產品概述

　　SEC-N100 系列是 HORIBA 推出的高性能數字式質量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），廣泛應用于半導體制造、薄膜沉積、分析儀器、光電子、生物醫藥等領域。該系列支持多種通信協議，具有較高的精度、快速響應能力和強大的多氣體、多量程適應能力，是新一代工藝控制系統的理想選擇。

產品特點

支持多種通信方式

數字/模擬通信
DeviceNet™
CC-Link™
PROFIBUS™
EtherCAT®

高精度流量控制

控制精度達 ±1.0% of Set Point (*1)
重復性好，穩定性高

快速響應性能

響應時間：≤1秒（T98）
可變 PID 控制算法，確保不同氣體/不同流量下的穩定輸出

多氣體/多量程功能

支持用戶自定義更換氣體類型和滿量程（Full Scale）設定
降低庫存成本，提高設備通用性和靈活性

高可靠性設計

無運動部件結構，可靠性更高，適合長期穩定運行
緊湊型設計，適配多種系統集成環境

技術規格

規格	選擇通信模式	選擇電源
SEC-N112MG SEC-N122MG SEC-N132MG SEC-N142MG SEC-N172R	數字通信 ?RS485 F-NET協議模擬通信 ?0?5VDC	±15VDC（±5%） HORIBA的陣容包括租賃電源PE系列。
SEC-N114MG SEC-N124MG SEC-N134MG SEC-N144MG SEC-N174R	DeviceNet™通信	符合ODVA標準
SEC-N115MG SEC-N125MG SEC-N135MG SEC-N145MG SEC-N175R	CC-Link®通信模擬通信 ?0到5VDC，0到10VDC 4到20mA	符合CC-Link®標準24VDC（13至32VDC）
SEC-N116MG SEC-N126MG SEC-N136MG SEC-N146MG SEC-N176R	PROFIBUS™通信模擬通信 ?0到5VDC，0到10VDC 4到20mA	符合PROFIBUS™標準24VDC（13至32VDC）
SEC-N117MG SEC-N127MG SEC-N177R	EtherCAT®通信	符合EtherCAT®標準24VDC

適用行業與應用場景

半導體制程設備（如 CVD、Etching、PVD）
光電子器件制造
OLED 面板制程
醫療與生物制藥氣體控制
化學反應過程氣體定量注入
實驗室氣體流量控制系統

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