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當前位置：曦源科學儀器（上海）有限公司>>在線分析儀器>>質量流量計>> SEC-Z512/514//522/524HORIBA高性能數字質量流量控制器
| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 差壓式 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 環保,食品/農產品,化工,電子/電池,制藥/生物制藥 | 控制范圍 | 10 SCCM ～ 500 SLM（以氮氣 N? 為基準） |
| 支持氣體 | 多種氣體（支持用戶自定義設置） | 控制精度 | ±1.0% S.P. |
| 響應時間 | ≤ 1 秒 | 通信接口 | 模擬（0-5 V / 4-20 mA）、數字、DeviceNet?、EtherCAT? |
HORIBA 的 SEC-Z500X 系列是HORIBA高性能數字質量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），集成多氣體/多量程功能，具備出色的精度、響應速度和穩定性，廣泛應用于半導體、光伏、光纖制造等高要求工業過程控制場景。
寬流量控制范圍
控制范圍覆蓋 10 SCCM ～ 500 SLM，適配各種氣體和工藝需求。
高控制精度
控制精度高達 ±1.0% S.P.，裝配“可變 PID 系統"，可在任意兩個設定點之間實現 1 秒響應。
多種通訊接口
支持 RS485、DeviceNet™、PROFIBUS™、EtherCAT® 及模擬 0–5V DC 信號輸出，便于系統集成。
多供電及密封選項
支持 ±15VDC 與 24VDC 兩種供電，提供橡膠密封或金屬密封可選，適應不同使用環境。
優異的長期穩定性與耐久性
高可靠性設計，適應嚴苛工業環境，減少維護頻次。
半導體制造：CVD、Etching、Oxidation、Diffusion 等工藝氣體精密控制
光伏與光電子制造
光纖預制棒與拉絲過程控制
精密材料薄膜沉積（PVD/CVD）
化學氣相反應與配比混氣控制
大氣/真空環境下的實驗室測試設備
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