HORIBA SEC-N100 系列數字式質量流量控制器

產品概述

SEC-N100 系列是 HORIBA 推出的高性能數字式質量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），廣泛應用于半導體制造、薄膜沉積、分析儀器、光電子、生物醫(yī)藥等領域。該系列支持多種通信協(xié)議，具有較高的精度、快速響應能力和強大的多氣體、多量程適應能力，是新一代工藝控制系統(tǒng)的理想選擇。

產品特點

• 支持多種通信方式

• 數字/模擬通信

• DeviceNet™

• CC-Link™

• PROFIBUS™

• EtherCAT®

• 高精度流量控制

• 控制精度達 ±1.0% of Set Point (*1)

• 重復性好，穩(wěn)定性高

• 快速響應性能

• 響應時間：≤1秒（T98）

• 可變 PID 控制算法，確保不同氣體/不同流量下的穩(wěn)定輸出

• 多氣體/多量程功能

• 支持用戶自定義更換氣體類型和滿量程（Full Scale）設定

• 降低庫存成本，提高設備通用性和靈活性

• 高可靠性設計

• 無運動部件結構，可靠性更高，適合長期穩(wěn)定運行

• 緊湊型設計，適配多種系統(tǒng)集成環(huán)境

技術規(guī)格

適用行業(yè)與應用場景

• 半導體制程設備（如 CVD、Etching、PVD）

• 光電子器件制造

• OLED 面板制程

• 醫(yī)療與生物制藥氣體控制

• 化學反應過程氣體定量注入

• 實驗室氣體流量控制系統(tǒng)