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| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 質量式 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件 | 動態范圍 | 0.2% 滿量程 至 100% 滿量程 |
| 響應時間 | < 0.8 s | 功能 | 多氣體/多量程/多壓力 |
CRITERION D500 是 HORIBA 推出的高性能壓差式質量流量控制器，專為半導體工藝氣體控制設計，兼具高精度、快速響應和穩定性，適用于對氣體流量有嚴格要求的應用環境。
壓力不敏感性能（Pressure Insensitive）
內置壓力補償控制技術，有效抑制供氣壓力波動的影響
簡化系統設計，無需額外穩壓設備
多量程 / 多氣體 / 多壓力自適應
支持多種氣體類型、多種滿量程流量設定
可根據需要靈活調整供氣壓力范圍
一機多用，適應多種工藝場景
G-LIFE 自診斷功能
內置基于氣體定律（限流器方程）的自檢功能
操作人員可在3秒內完成流量狀態測試
提高設備維護效率和生產連續性
三維調整技術
通過流量通道結構與壓力傳感器的位置優化，提升測量線性度與精度
提供更穩定、重復性更高的流量控制
快速響應能力
控制響應時間小于0.8秒
滿足快速切換及精細控制需求
寬動態控制范圍
控制范圍：0.2% ~ 100% 滿量程
精確控制微小流量至大流量需求
| 參數 | 數值 |
| 流量類型 | 質量流量（壓力差原理） |
| 控制方式 | 數字閉環控制 |
| 控制響應時間 | < 0.8 秒 |
| 控制精度 | 優于 ±1.0% F.S. |
| 重復性 | 優于 ±0.2% F.S. |
| 接口類型 | VCR / Swagelok 可選 |
| 適用氣體 | 多種（N?、H?、Ar、He、O? 等） |
| 供電電壓 | ±15 VDC / 24 VDC |
| 通信接口 | RS-485 / DeviceNet（可選） |
| 工作溫度范圍 | 15 ~ 45 ℃ |
| 氣體通道材質 | SUS316L（內表面電拋光） |
半導體制造工藝氣體輸送控制
化學氣相沉積（CVD）
原子層沉積（ALD）
顯影、蝕刻、擴散工藝
實驗室精密氣體配比系統
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