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當前位置：曦源科學儀器（上海）有限公司>>在線分析儀器>>質量流量計>> SEC-Z500X多量程/多氣體數字質量流量控制器
| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 差壓式 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 環保,食品/農產品,化工,電子/電池,汽車及零部件 | 動態范圍 | 0.05～50 SLM（支持多量程切換） |
| 支持氣體 | N?、H?、Ar、O?、He、CO?、CF? 等常見工藝氣體 | 控制精度 | ±1.0% |
| 響應時間 | ≤1 秒 | 通信接口 | RS-485、DeviceNet、EtherCAT、模擬（0–5V/4–20mA） |
| 使用溫度 | 5～50°C | 工作壓力 | ≤0.5 MPa（參考氣體不同略有差異） |
| 接口類型 | 1/4 |
HORIBA 的 SEC-Z500X 系列是一款高性能多量程/多氣體數字質量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱 MFC），專為半導體、化學氣相沉積（CVD）、等離子體蝕刻及其他高精度氣體控制應用設計。其核心優勢在于 多氣體、多量程、快速響應與高精度控制 的結合，極大提高了設備兼容性與工藝靈活性。
多氣體/多量程支持
內置多種氣體校準參數與多檔滿量程設置（Multi-Gas/Multi-Range，MG/MR），可通過配置軟件靈活切換氣體類型及流量范圍，無需更換設備。
高速響應性能
借助 HORIBA 的“可變 PID 控制技術"，實現 1 秒內響應至設定流量值，提升生產效率。
高精度控制
利用非線性多項式曲線補償，實現 ±1% S.P. 的控制精度，確保工藝穩定性。
多種通信接口可選
支持 DeviceNet™、EtherCAT®、RS-485、模擬電壓/電流信號等，便于系統集成。
緊湊設計，安裝方便
緊湊型模塊設計適合狹小空間的機柜或管道系統，無需改動原有布局。
遠程配置與診斷
支持通過 HORIBA 提供的軟件進行參數設定、氣體/流量切換、狀態監測和故障診斷。
| 參數 | 數值 |
| 控制范圍 | 0.05～50 SLM（支持多量程切換） |
| 支持氣體 | N?、H?、Ar、O?、He、CO?、CF? 等常見工藝氣體 |
| 控制精度 | ±1.0% S.P.（設定點） |
| 響應時間 | 優于 ±1.0% F.S. |
| 重復性 | ≤1 秒（0～設定點） |
| 通信接口 | RS-485、DeviceNet、EtherCAT、模擬（0–5V/4–20mA） |
| 工作壓力 | ≤0.5 MPa（參考氣體不同略有差異） |
| 使用溫度 | 5～50°C |
| 接口類型 | 1/4" VCR® / Swagelok® 可選 |
| 電源要求 | +15～+24V DC，最大3W |
| 認證標準 | SCE、RoHS、SEMI 等 |
半導體制程（CVD、Etching、ALD 等）
精密化學反應器
氣體混配與輸送系統
表面處理與薄膜沉積設備
光電/太陽能行業設備
激光切割與工業氣體控制
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