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| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 差壓式 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 環保,食品/農產品,化工,電子/電池,制藥/生物制藥 | 控制范圍 | 10 SCCM 至 200 SLM |
| 支持氣體 | 多種標準及特殊氣體 | 控制精度 | ±1.0% |
| 響應時間 | ≤1秒 | 通信接口 | 模擬、RS485、DeviceNet、PROFIBUS |
HORIBA SEC-E 系列數字質量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱 MFC），適用于各種工業與科研應用。該系列產品通過熱式傳感器檢測氣體流量，并搭配高響應電磁閥進行精準控制，支持多種氣體類型與廣泛的流量范圍，性能穩定，控制精度高。
高精度熱式傳感器
內置熱傳感器可實現實時流量測量，確保流量控制的高精度與重復性。
電磁閥控制
快速響應的電磁閥結構，具備良好的流量調節能力，適合動態工況。
多氣體兼容性
支持多種標準及特種氣體，如 N?、O?、Ar、He、H?、CO? 等。
寬流量控制范圍
控制范圍從 10 SCCM 至 200 SLM，涵蓋從實驗室級別到工業規模的多種需求。
數字/模擬信號兼容
提供模擬 (0–5V, 4–20mA) 和數字通訊（RS485, DeviceNet, PROFIBUS）接口，便于系統集成。
緊湊設計，易于安裝
模塊化結構，體積小，適合集成到各類設備或系統中。
| 參數 | 數值 |
| 可控氣體種類 | 多種標準及特殊氣體 |
| 流量控制范圍 | 10 SCCM ～ 200 SLM（以 N? 為基準） |
| 控制精度 | ±1.0% F.S.（標準型） |
| 重復精度 | ±0.2% F.S. |
| 響應時間 | ≤1 秒 |
| 通訊方式 | 模擬 0–5V、RS485、DeviceNet、EtherCAT、PROFIBUS |
| 供電電壓 | ±15VDC 或 +24VDC |
| 接頭類型 | 1/4" Swagelok, VCR, 面密封等多種可選 |
| 操作溫度范圍 | 5 ～ 50°C |
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