產品概述：

    MSC-75T可編程勻膠機，采用分體式結構設計，PP耐腐蝕內腔，4.3英寸觸摸屏，工業級直流電機及高級PLC控制，直觀清晰的程序界面與設計，美觀大方。適合涂膠處理? 5~100mm圓晶尺寸基片。
　　該勻膠機結構緊湊、簡單易用，可編程實現單步旋涂和多步編程旋涂，尺寸小巧，可放入手套箱內操作。PP材料旋涂內腔，可直接取下來，方便清洗。

性能參數：

適用晶元尺寸范圍：? 5~100mm；

旋涂速度：100~10000rpm；

轉速分辨率：1rpm；

旋涂加速度：100-10000rpm/s；

最大旋涂時間：3000s；

旋涂時間精度：0.1s；

勻膠機均勻性：≤±3%

內腔直徑150mm，內腔采用凹面防濺設計；

具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程10組程序，每組程序5步；

電源輸入：AC200-230

產品外型尺寸：290mm(W)x 235mm(D) x 185mm(H)

產品特點：

設計緊湊，可輕松放置在手套箱內使用；

PP材料旋涂內腔，耐腐蝕；

采用分體式結構，易清潔和移動；

4.3英寸彩色觸屏控制，易學易用；

精確設置實驗參數，運行狀態實時顯示；

經CNC一體加工成型的PP內腔，內腔壁采用凹面設計，有效防濺；

采用高級PLC程序控制，可編程，實現快速旋涂和多步編程旋涂；

具有電機進膠保護功能；管路易疏通設計；

更多功能可咨詢，支持定制。