產品應用：   

    MAS4-BE光刻系統一體機可實現一機多用，集成化程度更高，占地面積更小。廣泛應用于高校研究所實驗的光刻工藝，可完成涂膠、烘烤、曝光、顯影工序。

工藝步驟：

涂膠（放片、滴膠、旋轉、取片）→烤機（放片、烘烤、取片）→曝光（放片、曝光、取片）→顯影（放片、旋轉顯影和水洗、取片）→取片（轉移下道工序）。

控制系統

控制系統由PC和PLC控制模式，實時顯示設備運行過程中各工藝功能執行情況。 可實現自由的配方編輯，自由修改、編輯、存儲、及調用工藝配方等。 

技術參數：