MSC-150T可編程旋轉涂布機，采用分體式結構設計，7英寸觸摸屏，工業級直流電機及高級PLC控制，直觀清晰的程序界面與設計，美觀大方。適合涂膠處理? 10~150mm圓晶尺寸基片。該旋轉涂布機結構緊湊、簡單易用，可編程實現單步旋涂和多步編程旋涂。旋涂內腔可直接取下來，方便清洗。

產品參數：

適用晶元尺寸范圍：?10~150mm；

旋涂速度：100~10000rpm；

轉速分辨率：1rpm；

旋涂加速度：100-10000rpm/s；

最大旋涂時間：3000s；

旋涂時間精度：0.1s；

可存儲多種不同基片的旋轉涂敷工藝參數。每個涂敷工藝流程可以設置多步不同的旋轉速度

產品外型尺寸：300mm(W)x 380mm(D) x 260mm(H)

腔體尺寸：?220mm

重量：10KG

電壓：220V/50HZ

配置：標配吸盤一組（10、25、50、100）mm、無油真空泵一臺

產品特點：

旋涂內腔為耐酸堿材料PTFE，

采用分體式結構，易清潔和移動；

7英寸彩色觸屏控制，易學易用；

精確設置實驗參數，運行狀態實時顯示；

采用高級PLC程序控制，可編程，實現快速旋涂和多步編程旋涂；

具有電機進膠保護功能；管路易疏通設計；

更多需求可咨詢，提供分體式、嵌入式等定制