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當前位置：合肥重光電子科技有限公司>>涂膠顯影機>> MSC-200T-D針筒式滴膠旋轉涂布機
應用程序：
人工放置基板->啟動真空吸附->基板吸附于轉盤上 ->自動滴膠->旋轉開啟->低轉速->中 轉速->高轉速->旋轉停止->去邊->破真空->人工取件。
產品特點：
針筒式滴膠方式更適合科研和小批量生產，不用清洗管道；
整機用料扎實、750W進口伺服電機、適合更大更重樣品；
吸盤平整度精細加工平磨，均勻性好，可達1%以內；
電氣獨立集成機身側面，避免因腔體漏液到設備內部導致短路風險；
配置光膠過濾器，清洗保養方便，避免堵膠帶來飛片風險；
真空負壓數值顯示和低真空報警，避免因負壓不足帶來飛片風險；
安全措施：
功能 | 規格 |
真空檢知 | 面版上有數位顯示計，低壓報警 |
蓋子檢測 | 運行中開蓋報警 |
防吸入光阻裝置 | 加裝于真空PUMP之前,預防光阻液吸入需定期清潔保養 |
電控箱 | 位置放在側面，防止漏液帶來短路風險 |
產品參數：
桌上型半自動旋轉涂布機 | 供電電壓 | AC220V,50Hz | 操作方式 | 7寸觸控屏 |
轉速 | 20~10000rpm | 滴膠方式 | 手動滴膠/自動 | |
加速度 | 350~10000rpm/s | 編程 | 可編程50組20步 | |
減速度 | 350~10000rpm/s | 均勻性 | 1% | |
轉速分辨率 | 1rpm | 抽氣接口 | Φ6mm快擰接口 | |
單步時間 | 3000s | 整機尺寸 | 650mm×500mm×550mm | |
基片尺寸 | 直徑≤8英寸(200mm) | 整機重量 | 55kg | |
腔體材質 | PTFE | 光刻膠容器 | 膠泵、壓力罐、美式針筒 | |
滴膠管路 | ≤3路（背洗、去邊可選） | 核心配件品牌 | SMC、CKD、松下、西門子、小金井等 | |
排氣系統 | 真空泵 | 干式機械泵 | ||
抽氣速率 | 50L/min | |||
供電電源 | AC220V 50/60Hz | |||
可提供12寸晶圓（均勻性＜2%）、方片、膠泵滴膠、壓力罐滴膠等多種滴膠方式，以滿足不同產量要求，更多需求可咨詢。
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